ガスバリア性薄膜積層体、及びガスバリア性樹脂基材、及び有機ELデバイス

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-369111
公開番号（公開出願番号）：特開2006-175633
出願日： 2004年12月21日
公開日（公表日）： 2006年07月06日
要約：

【課題】従来よりも高いガスバリア性能を持ち、かつ曲げてもそのバリア性能が劣化しないガスバリア性薄膜積層体を生産性良く提供し、またこれにより環境耐性の優れた有機ELデバイスを提供する。【解決手段】有機膜と無機膜をそれぞれ少なくとも1層以上ずつ含むガスバリア性薄膜積層体において、有機膜の少なくとも1層が、放電空間に導入された放電ガスが大気圧もしくは大気圧近傍の圧力下でプラズマにより励起され、励起された放電ガスと、少なくとも1種類以上の有機化合物を含有する薄膜形成ガスとを、放電空間外で接触させて間接励起ガスとし、該間接励起ガスにより形成された重合膜であることを特徴とするガスバリア性薄膜積層体。【選択図】なし

請求項（抜粋）：

有機膜と無機膜をそれぞれ少なくとも1層以上ずつ含むガスバリア性薄膜積層体において、有機膜の少なくとも1層が、放電空間に導入された放電ガスが大気圧もしくは大気圧近傍の圧力下でプラズマにより励起され、励起された放電ガスと、少なくとも1種類以上の有機化合物を含有する薄膜形成ガスとを、放電空間外で接触させて間接励起ガスとし、該間接励起ガスにより形成された重合膜であることを特徴とするガスバリア性薄膜積層体。

IPC (6件)：

B32B 9/00 , B32B 27/00 , C23C 16/505 , H05B 33/02 , H05B 33/04 , H01L 51/50

FI (6件)：

B32B9/00 A , B32B27/00 A , C23C16/505 , H05B33/02 , H05B33/04 , H05B33/14 A

Fターム (56件)：

3K007AB11 , 3K007AB12 , 3K007AB13 , 3K007BA07 , 3K007BB01 , 3K007CA05 , 3K007CA06 , 3K007DB03 , 3K007FA02 , 4F100AA01B , 4F100AA12B , 4F100AA12G , 4F100AA17B , 4F100AA17G , 4F100AA19 , 4F100AA20 , 4F100AD00 , 4F100AH06 , 4F100AK01A , 4F100AK01E , 4F100AK25A , 4F100AK53A , 4F100AL01A , 4F100AL05B , 4F100AT00C , 4F100AT00D , 4F100AT00E , 4F100BA02 , 4F100BA03 , 4F100BA04 , 4F100BA05 , 4F100BA10A , 4F100BA10B , 4F100BA10C , 4F100BA10D , 4F100BA10E , 4F100EJ42 , 4F100EJ422 , 4F100EJ54 , 4F100EJ542 , 4F100EJ55 , 4F100EJ552 , 4F100EJ61 , 4F100EJ612 , 4F100GB23 , 4F100GB41 , 4F100JD02 , 4F100JM02G , 4K030AA06 , 4K030AA14 , 4K030BA44 , 4K030CA07 , 4K030FA01 , 4K030GA14 , 4K030HA04 , 4K030LA24

引用特許：

出願人引用 (5件)

特公昭53-12953号公報
特開昭58-217344号公報
世界公開第00/026973号パンフレット

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