ダイシング装置

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：秋元輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-202518
公開番号（公開出願番号）：特開平7-045556
出願日： 1993年07月26日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：

【要約】【目的】ダイシング装置にUV照射ユニットを組み込み、、ウェーハをダイシングしている間の待ち時間を利用して、既にダイシングが終了したウェーハのUV照射を行えるようにした、ダイシング装置を得る。【構成】ダイシング装置の所要位置にUV照射領域を設けると共に、そのUV照射領域までウェーハを搬送する搬送手段が配設される。

請求項（抜粋）：