特許

J-GLOBAL ID：200903007382019741

X線検査方法及びその装置

発明者： 寺岡 璋
出願人/特許権者： 株式会社テクノエナミ
代理人 (1件)： 井内 龍二
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-082501
公開番号（公開出願番号）：特開2000-275191
出願日： 1999年03月25日
公開日（公表日）： 2000年10月06日
要約：

【要約】【課題】 小型・高密度化するBGAやCSP等の電子部品の基板への実装状態、特に半田ボールの浮き上がり不良等を明確に判断することのできるX線検査装置を提供すること。【解決手段】 試料13を挟んで、X線を照射するX線源11とX線を検出するX線検出部12とが対向して配置され、X線源11から照射され、試料13を透過したX線がX線検出部12にて検出されるように構成されたX線検査装置において、X線検出部12のX線入射面12aが軸Sに対し平行となるように配置されると共に、X線入射面12aを常に同方向に向かせたまま、X線検出部12を、軸Sを中心軸として、揺動させる揺動手段16と、X線源11を、軸Sを回転軸として、X線検出部12に同期させて回転させる回転手段15とを装備する。

請求項（抜粋）：

X線を用いて試料の断面を撮影して検査するX線検査方法において、前記試料を挟んで、X線を照射するX線源とX線を検出するX線検出部とを対向させて配置し、前記X線検出部のX線入射面と前記断面とを平行にして、前記X線入射面と前記断面との平行関係を維持させたまま、前記X線検出部を、前記断面と同一面上にある直線を中心軸として、揺動させる一方、前記X線源を、前記断面と同一面上にある前記直線を回転軸として、前記X線検出部に同期させて回転させながら、前記X線源からX線を前記試料に照射し、前記試料を透過したX線を前記X線検出部にて検出することを特徴とするX線検査方法。

IPC (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512

FI (2件)：

G01N 23/04 ,  H05K 3/34 512 B

Fターム (21件)：

2G001AA01 ,  2G001BA11 ,  2G001CA01 ,  2G001DA01 ,  2G001DA02 ,  2G001FA06 ,  2G001GA06 ,  2G001GA13 ,  2G001HA13 ,  2G001HA14 ,  2G001JA01 ,  2G001JA02 ,  2G001JA06 ,  2G001JA11 ,  2G001JA13 ,  2G001KA03 ,  2G001LA11 ,  2G001MA05 ,  2G001SA02 ,  5E319AC01 ,  5E319CD52

引用特許：

出願人引用 (3件)

• X線診断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-277053   出願人：株式会社島津製作所
• 非破壊検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-221084   出願人：株式会社島津製作所
• 特開昭54-152489
  

審査官引用 (3件)

• X線診断装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平8-277053   出願人：株式会社島津製作所
• 非破壊検査装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-221084   出願人：株式会社島津製作所
• 特開昭54-152489