特許

J-GLOBAL ID：200903007402475692

研磨剤組成物

発明者： 山田 勉 ,  岡島 泰三 ,  大谷 孝弌 ,  森永 均
出願人/特許権者： 株式会社フジミインコーポレーテッド
代理人 (1件)： 佐々木 宗治 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-212534
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092749
出願日： 1991年03月18日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：

【要約】【課題】 研磨速度が向上し、しかも表面状態の優れた被研磨物が得られる研磨剤組成物を提供する。【解決手段】 水、アルミナ、およびベーマイト、並びにポリアミン系キレート性化合物またはポリアミノカルボン酸系キレート性化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種類、を含有してなる研磨剤組成物。

請求項（抜粋）：

水、アルミナ、およびベーマイト、並びにポリアミン系キレート性化合物またはポリアミノカルボン酸系キレート性化合物からなる群より選ばれる少なくとも1種類、を含有してなる研磨剤組成物。

IPC (2件)：

C09K 3/14 550 ,  C09K 3/14

FI (3件)：

C09K 3/14 550 C ,  C09K 3/14 550 E ,  C09K 3/14 550 M