研磨布表面のドレス治具及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：加藤朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-172871
公開番号（公開出願番号）：特開平11-000868
出願日： 1997年06月13日
公開日（公表日）： 1999年01月06日
要約：

【要約】【課題】研磨工程にて、研磨速度の安定化を図り、且つドレス時のダイヤモンド粒子の脱落の抑制とニッケルめっきの磨耗の抑制を図る。【解決手段】研磨布の目詰まりを除去するためのドレス治具の最表面に、平均粒子径の異なるダイヤモンド粒子を混合して固着する。但し、小粒径のダイヤモンド粒子4の上端部は、ニッケルめっき2から突出している。これにより、研磨布の凹部内に凝固した異物を有効に除去すると同時に、ニッケルめっき2の表面の磨耗を防ぐ。

請求項（抜粋）：

半導体ウェハの機械化学研磨法にて用いられる研磨布表面ドレス治具において、ドレス作用をもたらす一定以上の大きさの平均粒子径のダイヤモンド粒子と、前記ダイヤモント粒子の周囲に、前記ダイヤモンド粒子よりも平均粒子径の小さい粒子、もしくは前記ダイヤモンド粒子よりも薄いプレートを有する、ことを特徴とする研磨布表面ドレス治具。

IPC (3件)：

B24D 3/00 320 , B24D 3/06 , C25D 15/02

FI (3件)：

B24D 3/00 320 B , B24D 3/06 B , C25D 15/02 F

引用特許：

審査官引用 (11件)

特開平2-145261
特開昭60-092406
電着砥石
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-272063 出願人：三菱マテリアル株式会社

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