特許
J-GLOBAL ID：200903007519129434
極低温冷凍機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
津田 直久 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-268627
公開番号（公開出願番号）：特開平7-116403
出願日： 1993年10月27日
公開日（公表日）： 1995年05月09日
要約：
【要約】【目的】 電気ヒータを不要にできて低コストで、信頼性低下なくヒートステージの温度を必要温度に調節できるようにする。【構成】 循環路16にヘリウム冷媒を充填すると共に、このヘリウム冷媒に、極低温膨張機11におけるヒートステージ12のヘリウム冷媒による温度低下を抑制する窒素を5〜50%体積充填し、ヘリウム冷媒と混合させた。
請求項（抜粋）：
圧縮ユニット(13)とヒートステージ(12)をもつ極低温膨張機(11)とを備え、これら圧縮ユニット(13)と極低温膨張機(11)とを高圧ガス通路(14)及び低圧ガス通路(15)により接続して冷媒の循環路(16)を形成している極低温冷凍機において、前記循環路(16)にヘリウム冷媒を充填すると共に、このヘリウム冷媒に、該ヘリウム冷媒による極低温膨張機(11)のヒートステージ(12)における温度低下を抑制する窒素冷媒を充填し、前記ヘリウム冷媒と混合させていることを特徴とする極低温冷凍機。
IPC (2件)：
引用特許：
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