特許

J-GLOBAL ID：200903090719285184

真空排気装置のコールドトラップ

発明者： 吉田 尚司 ,  八木 信昭
出願人/特許権者： ダイキン工業株式会社
代理人 (1件)： 津田 直久
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-050874
公開番号（公開出願番号）：特開平5-253406
出願日： 1992年03月09日
公開日（公表日）： 1993年10月05日
要約：

【要約】【目的】 コールドパネルの温度を、水分の排気を有効に行えかつ、プロセスガスが凝縮を起こさない最適な温度範囲に保持でき、しかも、冷凍機の能力低下許容量を大きくしてオーバーホール時間を長くできるようにする。【構成】 コールドパネル14に電気ヒータ15又は大気に露出する吸熱部35aをもった熱伝導体35を取付けたり、若しくは所定温度以下で熱伝達率が低下する間座41をコールドパネル14とヒートステージ29との間に介装し、コールドパネル14の温度を、水分の排気を有効に行えプロセスガスが凝縮を起こさない最適温度範囲に保持する。

請求項（抜粋）：

真空室2に対する真空排気装置の排気経路に介装されるコールドトラップであって、前記真空室2に連通する排気入口部11と真空排気装置に連通する排気出口部12とを備えたトラップ本体10を設け、このトラップ本体10における前記入口部11と出口部12との間に冷凍機13のヒートステージ29と該ヒートステージ29に熱的に連結するコールドパネル14とを内装すると共に、前記コールドパネル14又はヒートステージ29に電気ヒータ15を取付けていることを特徴とする真空排気装置のコールドトラップ。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-156983
  
• 真空装置用低温トラツプ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-202902   出願人：アルバツク・クライオ株式会社