特許
J-GLOBAL ID：200903007549508707
原版搬送装置、露光装置およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (6件)：
大塚 康徳
, 高柳 司郎
, 大塚 康弘
, 木村 秀二
, 下山 治
, 永川 行光
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-173116
公開番号（公開出願番号）：特開2009-016388
出願日： 2007年06月29日
公開日（公表日）： 2009年01月22日
要約：
【課題】原版の搬送の際における位置決め精度の低下を抑える。【解決手段】原版搬送装置は、原版Rを保持する保持機構20と、保持機構20を移動させる駆動機構とを備える。保持機構20は、第1端101aおよび第2端101bを有する第1板バネ101と、第1端102aおよび第2端102bを有する第2板バネ102と、第1板バネ101および第2板バネ102が水平方向かつ互いに反対方向に延びるように第1板バネ101および第2板バネ102のそれぞれの第1端を支持するベース8と、鉛直方向に移動の自由度を有するように第1板バネ101の第2端101bによって支持されて原版Rの上面を吸着する第1吸着部91と、鉛直方向に移動の自由度を有するように第2板バネ102の第2端102bによって支持されて原版Rの上面を吸着する第2吸着部92とを備える。【選択図】図3
請求項（抜粋）：
原版を搬送する原版搬送装置であって、
前記原版を保持する保持機構と、
前記保持機構を移動させる駆動機構とを備え、
前記保持機構は、
第1端および第2端を有する第1板バネと、
第1端および第2端を有する第2板バネと、
前記第1板バネおよび前記第2板バネが水平方向かつ互いに反対方向に延びるように前記第1板バネおよび前記第2板バネのそれぞれの第1端を支持するベースと、
鉛直方向に移動の自由度を有するように前記第1板バネの第2端によって支持されて前記原版の上面を吸着する第1吸着部と、
鉛直方向に移動の自由度を有するように前記第2板バネの第2端によって支持されて前記原版の上面を吸着する第2吸着部と、
を備えることを特徴とする原版搬送装置。
IPC (3件)：
H01L 21/677
, G03F 7/20
, H01L 21/027
H01L21/68 B
, G03F7/20 521
, H01L21/30 514D
5F031CA07
, 5F031FA04
, 5F031GA08
, 5F031MA27
, 5F046CC02
, 5F046CC09
, 5F046CD02
, 5F046CD04
, 5F046CD06
