特許

J-GLOBAL ID：200903007632544723

レーザ測長計

発明者： 一色 史雄 ,  保坂 純男
出願人/特許権者： 株式会社日立製作所
代理人 (1件)： 高橋 明夫 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-170988
公開番号（公開出願番号）：特開2001-004321
出願日： 1999年06月17日
公開日（公表日）： 2001年01月12日
要約：

【要約】【課題】平均化処理を採用した、検出遅延時間が短くかつ測定精度が高いレーザ測長計を提供すること。【解決手段】平均化の手法として移動平均法によるフィルタを用い、その平均時間を、レーザの励起周期の整数倍に設定する。【効果】0.1nm精度の高精度な位置検出と、0.1ms以下の短い検出時間を同時に実現することができる。

請求項（抜粋）：

レーザを測定用光源として使い、被測定物からの反射レーザを用いて測長を行なう測長計において、反射レーザ光を電気信号に変換してなる検出信号を平均化して出力する信号処理回路を備え、当該信号処理回路は、平均時間がレーザの励起周期の整数倍に設定された移動平均フィルタを有していることを特徴とする測長計。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01B 9/02 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

G01B 11/00 G ,  G01B 9/02 ,  H01L 21/30 503 A

Fターム (36件)：

2F064AA01 ,  2F064BB01 ,  2F064CC01 ,  2F064DD04 ,  2F064DD08 ,  2F064EE01 ,  2F064FF02 ,  2F064GG13 ,  2F064GG22 ,  2F064HH01 ,  2F064HH05 ,  2F064JJ00 ,  2F065AA06 ,  2F065DD04 ,  2F065DD06 ,  2F065EE11 ,  2F065FF51 ,  2F065GG05 ,  2F065GG22 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ09 ,  2F065LL12 ,  2F065LL46 ,  2F065NN02 ,  2F065NN19 ,  2F065PP22 ,  2F065QQ01 ,  2F065QQ03 ,  2F065QQ14 ,  2F065QQ33 ,  2F065QQ34 ,  2F065QQ42 ,  5F046CC03 ,  5F046CC16 ,  5F046DB05

引用特許：

出願人引用 (1件)

• レーザ光を用いたスケール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-266987   出願人：株式会社ミツトヨ

審査官引用 (1件)

• レーザ光を用いたスケール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-266987   出願人：株式会社ミツトヨ