特許

J-GLOBAL ID：200903007651777330

外力センサ

発明者： 岡嶋 洋 ,  茂木 良平 ,  赤羽 紀之 ,  大内 秀樹
出願人/特許権者： 株式会社トキメック
代理人 (1件)： 松隈 秀盛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-307610
公開番号（公開出願番号）：特開平8-166302
出願日： 1994年12月12日
公開日（公表日）： 1996年06月25日
要約：

【要約】【目的】 温度変化の影響を受けることがなく正確に加速度を検出することができる外力センサを提供することを目的とする。【構成】 バイアス周波数ΔfB を設けるように構成された表面弾性波型外力センサにおいて、第1のSAWRと第2のSAWRを互いに相似形に形成する。

請求項（抜粋）：

外力を歪みに変換するための単結晶圧電板によって形成され片持ち支持された梁と、該梁の2つの面に装着され該梁に発生した歪みを共振周波数の変化に変換するための表面弾性波共振器と、を有する外力センサにおいて、上記梁の第1の面に形成された第1の表面弾性波共振器のパターンと上記梁の第2の面に形成された第2の表面弾性波共振器のパターンとは互いに相似形であることを特徴とする外力センサ。

IPC (2件)：

G01L 9/00 ,  G01P 15/08

引用特許：

審査官引用 (1件)

• 傾斜センサ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-310629   出願人：株式会社トキメツク