特許

J-GLOBAL ID：200903007660932321

変位測定装置

発明者： 高橋 秀昭 ,  田下 貴久 ,  田沼 敦郎
出願人/特許権者： アンリツ株式会社
代理人 (1件)： 西村 教光 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-112572
公開番号（公開出願番号）：特開2000-304506
出願日： 1999年04月20日
公開日（公表日）： 2000年11月02日
要約：

【要約】【課題】 結像レンズ部を照射光の走査方向に沿って所定数の集光レンズ部ごとにアレイ状に構成して、照射点の走査幅を拡大して測定対象に対して高精度で高速かつ短時間の変位測定を図る。【解決手段】 受光手段6は集光レンズアレイCと結像レンズアレイFと受光素子群Pで構成されている。集光レンズアレイCは光軸廻りに均等な結像特性を有する複数の集光レンズ部C1〜Cnが照射光の走査方向に沿って構成され、測定光を収束させる。結像レンズアレイFは光軸廻りに均等な結像特性を有する複数の結像レンズ部F1〜Fmが照射光の走査方向に沿って所定数の集光レンズ部C1〜C6ごとに構成され、収束された測定光を受光面P1a〜Pma上に結像させる。受光素子群Pは結像レンズ部F1〜Fmごとに受光素子P1〜Pmを有する。

請求項（抜粋）：

測定対象面に照射光を照射し、受光素子の受光面上に形成された結像点の検出位置に基づき、前記測定対象面の変位量を非接触で測定する変位測定装置において、照射光により前記測定対象面上に形成される照射点を走査する投光手段(4)と、前記照射点からの測定光を受光素子の受光面上で受光して結像点を形成する受光手段(P)とを有し、該受光手段は、光軸廻りに均等な結像特性を有する複数の集光レンズ部(C1,C2,...,Cn)が前記照射光の走査方向に沿って構成され、前記測定光を収束させる集光レンズアレイ(C)と、光軸廻りに均等な結像特性を有する複数の結像レンズ部(F1,F2,...,Fm)が前記照射光の走査方向に沿って所定数の前記集光レンズ部ごとに構成され、前記収束された測定光を前記受光面上に結像させる結像レンズアレイ(F)と、前記受光素子を前記結像レンズ部ごとに有する受光素子群(P1,P2,...,Pm)と、を備えていることを特徴とする変位測定装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  G01C 3/06 ,  G02B 3/00

FI (3件)：

G01B 11/00 B ,  G01C 3/06 A ,  G02B 3/00 A

Fターム (30件)：

2F065AA04 ,  2F065AA06 ,  2F065AA09 ,  2F065DD06 ,  2F065EE08 ,  2F065FF01 ,  2F065FF09 ,  2F065FF11 ,  2F065GG06 ,  2F065HH04 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ05 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL08 ,  2F065LL10 ,  2F065LL13 ,  2F065LL15 ,  2F065LL62 ,  2F065MM16 ,  2F065UU02 ,  2F112AA03 ,  2F112BA03 ,  2F112BA05 ,  2F112BA06 ,  2F112CA13 ,  2F112DA05 ,  2F112DA06 ,  2F112DA09 ,  2F112DA26 ,  2F112DA32

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 変位測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-257758   出願人：アンリツ株式会社
• 走査型レーザ変位計
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-009622   出願人：日本電気株式会社
• 特開平4-344448
  
• 特開平4-177106