特許
J-GLOBAL ID：200903007666736605
可視光放出VCSEL用混成ミラー構造体
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大貫 進介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-117552
公開番号（公開出願番号）：特開平10-051068
出願日： 1997年04月21日
公開日（公表日）： 1998年02月20日
要約：
【要約】【課題】 製造プロセスを簡略化し、コストを抑え、信頼性向上を図ったVCSELおよびその製造方法を提供する。【解決手段】 可視光放出VCSEL(101)用混成ミラー構造は、基板(102)上に配置され、酸化アルミニウム物質を含む交互層(111,113)の第1対(108)と、交互層(118,119)の第2対(116)とを含む、第1分布ブラッグ反射器(106)を含む。第1分布ブラッグ反射器上に第1クラッディング領域(123)を配置し、その上に活性領域(126)を配置し、その上に第2クラッディング領域(128)を配置し、その上に第2分布ブラッグ反射器(131)を配置する。第1分布ブラッグ反射器(106)における交互層の各対(108)は、酸化アルミニウムを含有する層(111)を含む。酸化により、屈折率が約1.3ないし1.7の範囲に低下する。
請求項（抜粋）：
可視光放出垂直空洞面放出レーザ(101)用混成ミラー構造体であって:表面(104)を有する支持基板(102);前記支持基板(102)の前記表面(104)上に配置された第1分布ブラッグ反射器(106)であって、該第1分布ブラッグ反射器(106)は、酸化アルミニウム物質を含む交互層(111,113)の第1対(108)と、交互層(118,119)の第2対(116)とを含み、前記交互層の第1対(108)は前記支持基板(102)に隣接して配置され、前記交互層の第2対(116)は前記交互層の第1対(108)上に配置された第1分布ブラッグ反射器(106);前記第1分布ブラッグ反射器(106)上に配置された第1クラッディング領域(123)であって、第1クラッディング領域(123)上には活性領域(126)が配置され、前記活性領域(126)上には第2クラッディング領域(128)が配置される、第1クラッディング領域(123);および前記第2クラッディング領域(128)上に配置された第2分布ブラッグ反射器(131);から成ることを特徴とする可視光放出垂直空洞面放出レーザ(101)用混成ミラー構造。
引用特許：
審査官引用 (1件)
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半導体発光装置
公報種別：公開公報
出願番号：特願平5-230042
出願人：株式会社東芝
引用文献：
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