特許
J-GLOBAL ID：200903007697048227
半導体集積回路の評価装置及び評価方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
前田 弘 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-325614
公開番号（公開出願番号）：特開平6-194407
出願日： 1992年12月04日
公開日（公表日）： 1994年07月15日
要約：
【要約】【目的】 トランジスタのホットキャリア効果による発光現象を利用して、入力ゲート信号のスイッチング時間や遅延時間を簡便に評価する。【構成】 半導体集積回路10のトランジスタがホットキャリア効果により発する微弱光を発光量計数検出部1で計数し、画像処理部21で発光量計数検出部1の出力を画像処理する。情報格納部22には、半導体集積回路10のトランジスタ毎にトランジスタ幅の情報とテストパターンにおけるスイッチング頻度の情報とを格納する。スイッチング時間演算部23により、画像処理部21及び情報格納部22の出力から、トランジスタのスイッチング時間を評価して出力する。これにより、取扱いの面倒な電子ビームテスタを使用することなく、簡便にスイッチング時間を評価し、設計や良否の判定に供する。トランジスタの発光量のゲート電圧に対する変化特性を利用して、遅延時間を評価することもできる。
請求項（抜粋）：
トランジスタを配設した半導体集積回路の特性を評価するための半導体集積回路の評価装置であって、上記半導体集積回路内のトランジスタがホットキャリア効果により発する微弱光を検出し、その光量を積算する発光量積算手段と、上記半導体集積回路内のトランジスタ毎にトランジスタ幅の情報とテストパターン実行時におけるスイッチング頻度の情報とを予め記憶している特性記憶手段と、上記発光量積算手段及び特性記憶手段の出力を受け、トランジスタ幅及びスイッチング頻度で決定される積算光量-スイッチング時間の相関関係に基づいて、上記半導体集積回路内のトランジスタの入力ゲート信号のスイッチング時間を演算し、その結果を出力するスイッチング時間演算手段とを備えたことを特徴とする半導体集積回路の評価装置。
IPC (3件)：
G01R 31/26
, G01R 31/28
, H01L 21/66
