特許
J-GLOBAL ID:200903007735248146
薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
藤本 博光
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平9-004264
公開番号(公開出願番号):特開平10-197399
出願日: 1997年01月14日
公開日(公表日): 1998年07月31日
要約:
【要約】【課題】 観察あるいは修理等の処理を行う位置に点灯不良箇所を正確かつ高速に自動で移動させることができ、追い込みのための作業者の作業の軽減をはかるとともに、作業の高速化を促進し、歩留り向上によるコスト削減を効率よくする。【解決手段】 作業者が欠陥絵素の有る付近が追い込み用CCDカメラ16に映るような位置までXYステージ4を粗く移動させる。移動後、追い込み用CCDカメラ16で得られた画像信号は、画像処理部29へ送られ、輝度と位置を示す画像情報がメインコントローラ10に出力される。メインコントローラ10は画像情報に基づいて欠陥絵素を演算検出し、その位置を特定する。この画像処理部29で得られた欠陥絵素位置と予め記憶されている顕微鏡直下の位置との差だけXYステージ4をメインコントローラ10によって移動する。このようにして欠陥絵素は作業者の手をほどんど借りずに自動的に精度良く位置決めされる。
請求項(抜粋):
薄型表示機器を支持すると共に移動させる移動手段と、上記薄型表示機器を点灯させるための駆動信号を供給する駆動信号供給手段と、駆動信号が供給されている上記薄型表示機器における点灯不良である欠陥箇所の検出に必要な光を上記薄型表示機器に照射する光源手段と、上記薄型表示機器における点灯不良の欠陥箇所に対し所定の処理を行う欠陥処理手段と、上記欠陥箇所の位置を検出する欠陥位置検出手段と、上記欠陥箇所の位置と上記欠陥処理手段の処理位置との偏差量を演算し、上記欠陥箇所を上記欠陥処理手段の処理位置へ該偏差量だけ上記移動手段によって移動させる制御手段と、を備えたことを特徴とする薄型表示機器の欠陥箇所位置決め装置。
IPC (2件):
G01M 11/00
, G02F 1/13 101
FI (2件):
G01M 11/00 T
, G02F 1/13 101
引用特許:
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