特許
J-GLOBAL ID：200903007746085389

非結像光学系を備えた極紫外線コンデンサ

発明者：
ジェイムズ ピー マックガイア ジュニア

ジェイムズ ピー マックガイア ジュニア について


出願人/特許権者：
エスヴィージー リトグラフィー システムズ インコーポレイテッド

エスヴィージー リトグラフィー システムズ インコーポレイテッド について


代理人 (1件)： 矢野 敏雄 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017124
公開番号（公開出願番号）：特開2000-221406
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2000年08月11日
要約：
【要約】【課題】 所望の照射を所定のフィールドまたはエリアに提供することである。【解決手段】 第1の非結像光学要素と、第2の非結像光学要素と、ファセットされた光学要素とを有する極紫外線コンデンサであって、前記第1の非結像光学要素は電磁波を反射し、前記第2の非結像光学要素は、前記第1の非結像光学要素から反射された電磁波を受光するように配置されており、前記ファセットされた光学要素はコンデンサのステップ部近傍に配置されており、これにより光源からの電磁波は、所定の放射照度および角度分布を有する所望の照明エリアに凝縮される。
請求項（抜粋）：
第1の非結像光学要素と、第2の非結像光学要素と、ファセットされた光学要素とを有する極紫外線コンデンサであって、前記第1の非結像光学要素は電磁波を反射し、前記第2の非結像光学要素は、前記第1の非結像光学要素から反射された電磁波を受光するように配置されており、前記ファセットされた光学要素はコンデンサのステップ部近傍に配置されており、これにより光源からの電磁波は、所定の放射照度および角度分布を有する所望の照明エリアに凝縮される、ことを特徴とする極紫外線コンデンサ。
IPC (4件)：
G02B 19/00 ,  G02B 17/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027
FI (4件)：
G02B 19/00 ,  G02B 17/06 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 515 D
引用特許：
審査官引用 (9件)
  • 照明装置及び露光装置
    公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-025565   出願人：株式会社ニコン
  • 特開平4-251802
  • 特開平4-251802
全件表示

前のページに戻る

TOP

BOTTOM