特許
J-GLOBAL ID：200903007754789859
ワイヤソー
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松浦 憲三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-179326
公開番号（公開出願番号）：特開平11-019862
出願日： 1996年06月04日
公開日（公表日）： 1999年01月26日
要約：
【要約】【課題】スラリの堆積を防止することができるワイヤソー。【解決手段】オイルパン38に谷状の凹部42を形成し、その凹部42の傾斜面42A、42Aを回収するスラリに含まれる砥粒の安息角以上に傾斜させるとともに、該オイルパン38の谷部及び傾斜面42A、42Aに向けてスラリを噴射する噴射ノズル46、48を設ける。回収されたスラリは、前記凹部42の傾斜面42A、42A上を流れ落ちるとともに、噴射ノズル46、48から噴射されるスラリの流れにより、強制的に排出口44に向けて流され、該排出口44から排出される。
請求項（抜粋）：
走行するワイヤ列にスラリを供給しながら被加工物を押し当ることにより、該被加工物を多数のウェーハに切断するワイヤソーにおいて、前記ワイヤ列の下方部に該ワイヤ列に供給されたスラリを回収するオイルパンを設置するとともに、該オイルパンの下方部に該オイルパンで回収したスラリを貯留するタンクを設置することを特徴とするワイヤソー。
IPC (3件)：
B24B 27/06
, B28D 5/04
, B28D 7/02
B24B 27/06 D
, B28D 5/04 C
, B28D 7/02
