特許
J-GLOBAL ID：200903007779136485
ロードポート装置における配線構造
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内藤 哲寛
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-176147
公開番号（公開出願番号）：特開2008-010445
出願日： 2006年06月27日
公開日（公表日）： 2008年01月17日
要約：
【課題】 キャリアベースの可動領域の直下に形成される上下方向の寸法の大きな空間部を利用して、キャリアベース上に配置された着座センサ等の信号線を配線可能にすることである。【解決手段】 キャリアベースVの可動領域の直下のフレームF内に形成される上下方向の寸法の大きな空間部1を配線空間33として利用して、キャリアベースV上に配置された着座センサ22等の信号線Cを前記配線空間33に垂下状態で配線する。【選択図】 図4
請求項（抜粋）：
マッピングセンサ装置の駆動部、ウェハキャリアの蓋体を開閉する蓋体開閉装置の駆動部等を内部に収容したフレームと、当該フレームの僅かに上方に前後動可能に配置されたキャリアベースとを備え、ウェハキャリアを位置決めして載置した前記キャリアベースを前後動させて、当該キャリアベースの前進端であるウェハ受渡し位置において当該ウェハキャリアと半導体製造装置との間でウェハの受け渡しを行なう構成のロードポート装置であって、
前記キャリアベースの直下のフレーム内における前後方向、及び上下方向の双方に沿って連続した空間が形成されている部分を配線空間にして、
前記キャリアベースに対してウェハキャリアが載置されたことを確認する着座センサ、キャリアベースに対してウェハキャリアをクランプしたことを確認するクランプセンサ等の各信号線が上下方向に沿って僅かな弛みを有して前記配線空間に垂下状態で配線されて、前記各信号線の空間配線部の上端は、前記キャリアベースの裏面に固定されたブラケットに連結されていると共に、前記空間配線部の下端は、前記配線空間の最も低い部分に固定されたブラケットに連結されていることを特徴とするロードポート装置における配線構造。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (10件)：
5F031CA02
, 5F031DA08
, 5F031FA01
, 5F031FA11
, 5F031FA15
, 5F031JA22
, 5F031LA18
, 5F031NA09
, 5F031NA10
, 5F031PA30
