先鋭探針の製造方法およびその装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：中村純之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-102585
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288115
出願日： 1996年04月24日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】探針の有効部分のアスペクト比(縦横比)が高く、化学的に安定な種々の材質を用いて先鋭探針を作製することが可能な先鋭探針の製造方法およびそれを実施する装置を提供する。【解決手段】走査プローブ顕微鏡、電界放射電子源、電界放射イオン源、電極またはセンサに用いられる細線もしくは探針を先鋭化する先鋭探針の製造方法およびその装置であって、先鋭探針を形成する物質をイオン化する工程と、イオンに電圧を印加して、イオンを電界集中により探針母材の先端部に集中して付着させる工程を少なくとも用いて、アスペクト比の高い突起を探針母材の先端部に形成する先鋭探針の製造方法およびそれを実施する装置。

請求項（抜粋）：

走査プローブ顕微鏡、電界放射電子源、電界放射イオン源、電極またはセンサに用いられる細線もしくは探針を先鋭化する先鋭探針の製造方法であって、先鋭探針を形成する物質をイオン化する工程と、上記イオンに電圧を印加して、該イオンを電界集中により探針母材の先端部に集中して付着させる工程を少なくとも用いて、アスペクト比の高い突起を探針母材の先端部に形成することを特徴とする先鋭探針の製造方法。

IPC (3件)：

G01N 37/00 , G01B 21/30 , G01R 1/067

FI (3件)：

G01N 37/00 C , G01B 21/30 Z , G01R 1/067 A

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開平3-179202
試料表面加工用チップ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-045287 出願人：日本電子株式会社

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