特許

J-GLOBAL ID：200903007804537376

位置検出方法および装置

発明者： 古賀 慎一郎 ,  鵜澤 繁行
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-291651
公開番号（公開出願番号）：特開平9-115815
出願日： 1995年10月16日
公開日（公表日）： 1997年05月02日
要約：

【要約】【課題】 分解能の高い光学系を用いて入力されたマーク信号においても、高精度に位置を検出する位置検出方法および装置を提供する。【解決手段】 マークからの2次元像の信号を1方向に積算して1次元信号を得る積算工程2と、1次元信号を用いてマークの位置を検出する位置検出工程3とを備え、マークとして、その境界部分に対応する1次元信号部分の信号値が緩やかに変化する形状のものを用いる。

請求項（抜粋）：

マークからの2次元像の信号を1方向に積算して1次元信号を得る積算工程と、前記1次元信号を用いて前記マークの位置を検出する位置検出工程とを備え、前記マークとして、その境界部分に対応する前記1次元信号部分の信号値が緩やかに変化する形状のものを用いることを特徴とする位置検出方法。

IPC (2件)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (4件)：

H01L 21/30 522 Z ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 525 R ,  H01L 21/30 525 W

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 位置検出装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平5-140679   出願人：キヤノン株式会社
• 特開平4-032219