情報記録再生装置、プローブ走査型顕微鏡、微細加工装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小川勝男
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-017116
公開番号（公開出願番号）：特開平7-225975
出願日： 1994年02月14日
公開日（公表日）： 1995年08月22日
要約：

【要約】【目的】プローブを記録媒体表面に沿って走査させながら情報の記録再生を行なう情報記録再生装置等において、実用上十分な速度でのプローブ走査を実現する。【構成】光源101から出射した直線偏光の光束は、偏波面保存型光ファイバ102を通り、前記光の波長よりも小さな微小開口部104を有する金属マスク103を経てエバネッセント波の形態をとる。ここで、金属マスク,光磁気記録媒体は導体であるので、その双方に電極を取り付けて容量距離センサ130に接続することにより、両者間の容量cから距離dを感知することができる。【効果】金属マスク103の光磁気記録媒体105に正対した部分の面積が微小開口部104の面積に比べて大きいため、高精度かつ高帯域な前記距離dの情報を得ることができる。この距離dの情報をアクチュエータ114に帰還させて微小開口部104の位置を制御することにより、高速プローブ走査が可能になる。

請求項（抜粋）：

光学的、磁気的、静電的、電気的、或は機械的信号を記録可能な情報記録媒体に対し、プローブを非接触で該情報記録媒体表面に沿って走査させて記録再生を行なう情報記録再生装置において、前記プローブは情報記録マークを記録かつ/または検知する第1のプローブと、該第1のプローブよりも有効検知面積の大きな位置決めサーボ用第2のプローブとが一体化して成るプローブであることを特徴とする情報記録再生装置。

IPC (6件)：

G11B 11/00 , G01B 7/34 , G01B 21/30 , G01N 37/00 , G11B 9/06 , H01J 37/28

引用特許：

審査官引用 (2件)

情報処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-347741 出願人：キヤノン株式会社
特開平3-171434

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