特許
J-GLOBAL ID：200903007864488617
液体噴射ヘッドの駆動電極形成方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
阪本 善朗
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-342774
公開番号（公開出願番号）：特開2002-144588
出願日： 2000年11月10日
公開日（公表日）： 2002年05月21日
要約：
【要約】【課題】 駆動電極を短時間にて容易にさらに低コストで形成でき、吐出力の優れたヘッドを形成できる液体噴射ヘッドの駆動電極形成方法を提供する。【解決手段】 隔壁3によって隔てられた複数の溝2aを有する圧電セラミックス板1の隔壁3の側面にフォトレジスト膜5xを形成し、このフォトレジスト膜5xに所望の光線6xを角度φだけ傾斜させて照射し、光線6xに照射されたレジスト膜5xを現像処理によって除去した後に、無電解メッキ法等により導電性薄膜10を形成し、そして、除去されずに残っているレジスト層7xとレジスト層7x上の導電性薄膜10を溶剤により除去するとともに隔壁3の上表面の導電性薄膜10を除去する。このようにして、所望の領域に駆動電極4bを形成することができ、さらに、以上の工程を繰り返すことにより所望の駆動電極をもった液体噴射ヘッドのアクチュエータプレートを作製する。
請求項（抜粋）：
圧電材料で形成された隔壁によって隔てられた複数の溝を有するアクチュエータプレートと、該アクチュエータプレートの前記溝の開口部を塞ぐカバー部材と、前記隔壁の一部に形成されて電界を発生させるための駆動電極とを有する液体噴射ヘッドにおける駆動電極形成方法において、前記アクチュエータプレートの前記隔壁の側面全面に、フォトレジスト膜を形成する第一工程と、前記フォトレジスト膜の所望の部分に光線を照射する第二工程と、前記光線が照射された部分または前記光線が照射されなかった部分のフォトレジスト膜を除去する第三工程と、前記隔壁の側面全面に導電性膜を形成する第四工程と、前記第三工程で除去されずに前記隔壁に残ったレジスト膜とともに該レジスト膜上の導電性膜を除去して、駆動電極を得る第五工程とからなり、前記第一工程ないし前記第五工程を適宜繰り返し、所望する部分のみに駆動電極を得ることを特徴とする液体噴射ヘッドの駆動電極形成方法。
IPC (3件)：
B41J 2/16
, B41J 2/045
, B41J 2/055
B41J 3/04 103 H
, B41J 3/04 103 A
2C057AF93
, 2C057AG45
, 2C057AP11
, 2C057AP31
, 2C057AP55
, 2C057BA05
, 2C057BA14
