特許
J-GLOBAL ID：200903007926744879
精密可動装置用セラミックス部品及びその製造方法
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
大島 陽一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-230303
公開番号（公開出願番号）：特開2002-047078
出願日： 2000年07月31日
公開日（公表日）： 2002年02月12日
要約：
【要約】【課題】 部品表面より発生(脱落)するパーティクルを低減して信頼性が向上した精密可動装置用セラミックス部品及びその製造方法を提供する。【解決手段】 セラミックス材を焼成して部品形状に加工した後、大気中または酸化雰囲気中で400°C乃至1400°Cの温度で熱処理することにより、保護膜の形成並びに表面層が補修され、パーティクルの発生が顕著に低減することから、このセラミックス部品を磁気ディスク装置等の精密可動装置に使用することで、その信頼性が著しく向上する。
請求項（抜粋）：
精密可動装置用セラミックス部品であって、部品形状に加工した状態で大気中または酸化雰囲気中で400°C乃至1400°Cの温度で熱処理してなるセラミックス材からなることを特徴とする精密可動装置用セラミックス部品。
引用特許：
出願人引用 (3件)
審査官引用 (6件)
全件表示
前のページに戻る
