特許

J-GLOBAL ID：200903007931677438

化学物質計測用水晶振動子およびこれを用いた化学物質検知装置

発明者： 村松 宏 ,  安宅 龍明 ,  金 種▲民▼ ,  須田 吉久
出願人/特許権者： セイコーインスツルメンツ株式会社 ,  三菱鉛筆株式会社
代理人 (1件)： 林 敬之助
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-360458
公開番号（公開出願番号）：特開平11-190689
出願日： 1997年12月26日
公開日（公表日）： 1999年07月13日
要約：

【要約】【課題】 安定に測定に使用でき、かつ高感度な応答が得られ、かつ安価に製造可能な炭素膜被覆水晶振動子、および、この水晶振動子を用いた化学物質検知装置を提供すること。【解決手段】 水晶振動子の電極上に非晶質炭素膜を焼結形成させることによって、安定に動作しかつ、化学物質に対する応答感度の高い化学計測用水晶振動子を構成し、非晶質炭素膜中に炭素粉を含有させることによって、感度向上と選択性付与を可能にするとともに、この炭素膜付き水晶振動子を用いて化学物質検知装置を構成した。

請求項（抜粋）：

水晶振動子の電極上に焼結形成された非晶質炭素膜を有する化学物質計測用水晶振動子。