LiCoO2の堆積

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：平木祐輔 , 石井貞次 , 藤田節
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2007-218906
公開番号（公開出願番号）：特開2008-045213
出願日： 2007年08月24日
公開日（公表日）： 2008年02月28日
要約：

【課題】パルスdc物理気相堆積プロセスにより、固体再充電可能Li電池のカソード層として利用しうるLiCoO2膜の低温高速度堆積方法を提供する。【解決手段】LiCoO2層を堆積する前に、基板16を約200°Cまでの温度に予備加熱する。次にLiCoO2を含むスパッタターゲット12にパルスDC電力を印加し、ターゲット12と対向する位置に配置された基板16上にLiCoO2層を形成する。さらに、短時間の急速熱アニールプロセスを行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

反応器内に基板を配置することと、少なくとも不活性ガスを該反応器内に通して流動させることと、 LiCoO2を含むスパッターターゲットにパルスDC電力を印加することと、該ターゲットを該基板に対向するように位置決めすることと、 LiCoO2の層を該基板上に形成させることと、該基板およびLiCoO2層に急速熱アニールを適用することと、を含む、LiCoO2層の堆積方法。

IPC (8件)：

C23C 14/08 , C23C 14/58 , H01M 4/52 , H01M 4/66 , H01M 4/02 , H01M 10/36 , C23C 14/02 , C23C 14/34

FI (10件)：

C23C14/08 K , C23C14/58 A , H01M4/52 102 , H01M4/66 A , H01M4/02 102 , H01M10/00 107 , H01M10/00 117 , H01M10/00 102 , C23C14/02 , C23C14/34 S

Fターム (72件)：

4K029AA06 , 4K029AA09 , 4K029AA11 , 4K029AA24 , 4K029BA50 , 4K029BC03 , 4K029CA05 , 4K029CA13 , 4K029DC05 , 4K029DC34 , 4K029DC40 , 4K029DC46 , 4K029EA02 , 4K029EA08 , 4K029FA06 , 4K029GA01 , 5H017AA03 , 5H017AS01 , 5H017BB16 , 5H017BB19 , 5H017CC01 , 5H017EE01 , 5H017HH05 , 5H029AJ01 , 5H029AJ14 , 5H029AK03 , 5H029AL12 , 5H029AM12 , 5H029BJ04 , 5H029BJ12 , 5H029CJ02 , 5H029CJ24 , 5H029CJ28 , 5H029CJ30 , 5H029DJ07 , 5H029DJ16 , 5H029DJ17 , 5H029EJ01 , 5H029EJ03 , 5H029EJ05 , 5H029EJ06 , 5H029EJ08 , 5H029EJ12 , 5H029HJ05 , 5H029HJ12 , 5H029HJ13 , 5H029HJ14 , 5H029HJ20 , 5H050AA01 , 5H050AA19 , 5H050BA16 , 5H050BA17 , 5H050CA08 , 5H050CB12 , 5H050DA04 , 5H050DA06 , 5H050FA02 , 5H050FA17 , 5H050FA18 , 5H050FA19 , 5H050GA02 , 5H050GA24 , 5H050GA27 , 5H050GA28 , 5H050GA29 , 5H050GA30 , 5H050HA05 , 5H050HA12 , 5H050HA13 , 5H050HA14 , 5H050HA17 , 5H050HA20

引用特許：

出願人引用 (3件)

米国特許出願公開第2002/001747号明細書
米国特許出願公開第2001/0032666号明細書
米国特許出願公開第2002/0001746号明細書

審査官引用 (10件)

リチウム二次電池用電極の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願2002-030773 出願人：三洋電機株式会社
特許第6632563号
特許第6632563号

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