特許
J-GLOBAL ID：200903007950198044
荷電粒子線露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
永井 冬紀
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-170616
公開番号（公開出願番号）：特開平7-029793
出願日： 1993年07月09日
公開日（公表日）： 1995年01月31日
要約：
【要約】【目的】 散乱体を薄膜で支持しなくても感光基板に島状の非露光部を形成できる荷電粒子線露光装置を提供する。【構成】 荷電粒子線を実質的に通さない境界部材11によってマスク10の主視野を複数の副視野SFに分割し、分割された副視野SF毎に感光基板への露光を繰り返して主視野の全体を露光する荷電粒子線露光装置において、マスク10に照射される荷電粒子線を散乱させて感光基板上に島状の非露光部を形成させる散乱体120を境界部材11に支持させる。
請求項（抜粋）：
荷電粒子線で照射されるマスク上に1以上の主視野を設定し、この主視野を、荷電粒子線を実質的に通さない境界部材によって複数の副視野に分割し、分割された前記副視野毎に感光基板への露光を繰り返して前記主視野の全体を露光する荷電粒子線露光装置において、前記マスクに照射される荷電粒子線を散乱させて前記感光基板上に島状の非露光部を形成させる散乱体を、前記境界部材に支持させたことを特徴とする荷電粒子線露光装置。
FI (2件)：
H01L 21/30 541 S
, H01L 21/30 551
