特許
J-GLOBAL ID：200903007978973531
表面測定装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
松岡 修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-293306
公開番号（公開出願番号）：特開平10-122833
出願日： 1996年10月15日
公開日（公表日）： 1998年05月15日
要約：
【要約】【課題】 拡大鏡によるキズ検査と干渉計による表面うねり検査とを独立して行う必要があるため、検査に手間がかかるという問題がある。【解決手段】 光学系は、被測定物である被検レンズ1から観察光学系10に至る拡大鏡光学系10と、被検レンズ1と観察光学系10との間に設けられた第1ビームスプリッター21を介して被検レンズ1と原器2とに照明光を入射させる照明光学系20とを備えている。表面うねりの測定時には、原器2と第1ビームスプリッター21との間に設けられたシャッター3を開いて被検レンズ1および原器2からの反射光により形成される干渉縞を観察光学系10により観察する。表面欠陥の観察時には、シャッター3を閉じる。
請求項（抜粋）：
被測定物を拡大観察する観察光学系と被測定物との間の光路中に、該光路を分岐するビームスプリッターを配置し、該ビームスプリッターにより分岐される一方の光路に前記被測定物を配置すると共に他方の光路に干渉用の原器を配置し、前記ビームスプリッターにより照明光が前記被測定物側と前記原器側とに分岐されるように照明光学系を配置し、前記ビームスプリッターと前記原器との間の光路中に、開閉操作により光束を通過させ、あるいは遮断するシャッターを設けることにより、前記シャッターの開放時には前記被測定物と前記原器とからの反射光による干渉縞を前記観察光学系により観察し、前記シャッターの閉成時には前記被測定物の表面状態のみを観察できるようにしたことを特徴とする表面測定装置。
IPC (3件)：
G01B 11/24
, G01B 9/02
, G01B 11/30
G01B 11/24 D
, G01B 9/02
, G01B 11/30 Z
