特許
J-GLOBAL ID:200903007985707936

剥離方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 鈴木 喜三郎 (外2名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平8-300371
公開番号(公開出願番号):特開平10-125929
出願日: 1996年11月12日
公開日(公表日): 1998年05月15日
要約:
【要約】【課題】被剥離物の特性、条件等にかかわらず、容易に剥離することができ、特に、種々の転写体への転写が可能な剥離方法を提供すること。【解決手段】本発明の剥離方法(転写方法)は、透光性の基板1上に例えば非晶質シリコンよりなる光吸収層21と金属薄膜よりなる反射層22との積層体である分離層2を形成する工程と、分離層2上に直接または所定の中間層3を介して被転写層4を形成する工程と、被転写層4の基板1と反対側に接着層5を介して転写体6を接合する工程と、基板1の裏面側から分離層2にレーザ光のような照射光7を照射し、光吸収層21にアブレーションを起こさせ、分離層2の層内および/または界面において剥離を生ぜしめ、被転写層4を基板1から離脱させて転写体6へ転写する工程とを有する。
請求項(抜粋):
基板上に複数の層の積層体よりなる分離層を介して存在する被剥離物を前記基板から剥離する剥離方法であって、前記分離層に照射光を照射して、前記分離層の層内および/または界面において剥離を生ぜしめ、前記被剥離物を前記基板から離脱させることを特徴とする剥離方法。
IPC (3件):
H01L 29/786 ,  H01L 21/336 ,  C23F 4/00
FI (3件):
H01L 29/78 627 Z ,  C23F 4/00 A ,  H01L 29/78 627 D
引用特許:
出願人引用 (5件)
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審査官引用 (3件)
  • 熱転写シート及び画像形成方法
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平5-275749   出願人:富士写真フイルム株式会社
  • 表示セル
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平3-350543   出願人:加藤忠信
  • 特表平6-504139

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