特許

J-GLOBAL ID：200903007995867680

シリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材

発明者： 松尾 悟
出願人/特許権者： 三菱マテリアルシリコン株式会社
代理人 (1件)： 須田 正義
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-208696
公開番号（公開出願番号）：特開2001-039798
出願日： 1999年07月23日
公開日（公表日）： 2001年02月13日
要約：

【要約】【課題】 粉塵、シリコン凝固物等の異物のシリコン融液への落下を防止する。【解決手段】 石英るつぼ13に貯留されたシリコン融液12から引上げられるシリコン単結晶棒24の外周面を包囲しかつ下端がシリコン融液表面から間隔をあけて上方に位置しシリコン融液を加熱するヒータ18からの輻射熱を遮る筒部27aを有する熱遮蔽部材27とを備える。筒部は下部に向うに従って筒径が小さくなる円錐状に形成され、筒部の内部に筒部の下部周縁に一体的に接続された内筒27bが設けられる。内筒27bの上端周縁に筒部27aの方向にフランジ27cが設けられる。

請求項（抜粋）：

石英るつぼ(13)に貯留されたシリコン融液(12)から引上げられるシリコン単結晶棒(24)の外周面を包囲しかつ下端が前記シリコン融液(12)表面から間隔をあけて上方に位置し前記シリコン融液(12)を加熱するヒータ(18)からの輻射熱を遮る筒部(27a)を有する熱遮蔽部材(27)において、前記筒部(27a)が下部に向うに従って筒径が小さくなる円錐状に形成され、かつ前記筒部(27a)の内部に前記筒部(27a)の下部周縁に一体的に接続された内筒(27b)が設けられたことを特徴とするシリコン単結晶引上げ装置の熱遮蔽部材。

IPC (2件)：

C30B 29/06 502 ,  H01L 21/208

FI (2件)：

C30B 29/06 502 C ,  H01L 21/208 P

Fターム (20件)：

4G077AA02 ,  4G077BA04 ,  4G077CF10 ,  4G077EG19 ,  4G077EG25 ,  4G077HA12 ,  5F053AA12 ,  5F053AA13 ,  5F053BB02 ,  5F053BB04 ,  5F053BB08 ,  5F053BB12 ,  5F053BB13 ,  5F053BB15 ,  5F053BB60 ,  5F053DD01 ,  5F053FF04 ,  5F053GG01 ,  5F053RR03 ,  5F053RR20

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 単結晶製造装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-146294   出願人：小松電子金属株式会社
• 単結晶引き上げ方法及び装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平7-351847   出願人：信越半導体株式会社
• 特開昭64-065086