炭酸ガスセンサ

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-110181
公開番号（公開出願番号）：特開平10-073560
出願日： 1997年04月11日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】炭酸ガスセンサであって、短時間で出力が安定し、且つ長期間使用しても出力の変動が少なく、しかも固体電解質板と金属炭酸塩層との剥離を生ずることがない炭酸ガスセンサを提供する。【解決手段】本発明の炭酸ガスセンサ1は、内部に発熱体20が内蔵されるとともに、一主表面に窪み部14が設けられたアルミナ基板からなる基体10、前記窪み部の底面に形成された基準電極30、その上に載置された固体電解質素子40、その表面に形成された格子状の検知電極50、検知電極50を覆うようにして設けられた金属炭酸塩層60からなり、更に、固体電解質素子40と前記窪み部の周壁との間隙にガラスからなるシール材70が充填されている。

請求項（抜粋）：

発熱体を内蔵する基体に、基準電極と、固体電解質からなるイオン伝導体層と、検知電極と、金属炭酸塩層とがこの順に形成されてなり、前記イオン伝導体層が前記基体の一主表面に設けられた窪み部に配置されていることを特徴とする炭酸ガスセンサ。

引用特許：

審査官引用 (4件)

炭酸ガス検知センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-035082 出願人：矢崎総業株式会社
センサセメント
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-072770 出願人：マツダ株式会社, 日本特殊陶業株式会社, フィガロ技研株式会社
CO2センサ
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-131941 出願人：日本セラミック株式会社

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引用文献：

審査官引用 (5件)

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