特許
J-GLOBAL ID：200903008016426950
半導体ウエハ収納容器
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
久保田 千賀志 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-084624
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246369
出願日： 1996年03月13日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 ウエハの径が異なっていても、同一の収納本体部や蓋部を用いて、そのウエハの運搬や保管ができ、かつ経済性にも優れたウエハ収納容器を提供することである。【解決手段】 径が大きなウエハを収納するための径大ウエハ用円筒部12が基台11に立設して成る収納本体部1と、径が小さなウエハを収納するための径小ウエハ用筒部22が底板材21に立設し、該径小ウエハ用筒部にはその上端にて開口する複数のスリット26a〜26dが円筒軸方向に形成されて成り、前記径大用円筒部内に設置・取り外し可能に納められるウエハホルダ2と、前記収納本体部を上方から覆う蓋部3とから成る。
請求項（抜粋）：
径が大きなウエハを収納するための径大ウエハ用円筒部が基台に立設して成る収納本体部と、径が小さなウエハを収納するための径小ウエハ用筒部が底板材に立設し、該径小ウエハ用筒部にはその上端にて開口する複数のスリットが円筒軸方向に形成されて成り、前記径大用円筒部内に設置・取り外し可能に納められるウエハホルダと、前記収納本体部を上方から覆う蓋部と、から成る半導体ウエハ収納容器。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 T
, B65D 85/38 R
