洗浄装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：永田良昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-022201
公開番号（公開出願番号）：特開平10-202209
出願日： 1997年01月20日
公開日（公表日）： 1998年08月04日
要約：

【要約】【課題】炭化水素系溶剤で被洗浄物を洗浄し、洗浄後の被洗浄物をフッ素系不活性溶剤でリンスすることで、IPAを何等使用することなく被洗浄物に対する確実な洗浄効果、リンス効果を得ることができ、防爆構造を省略することができる洗浄装置の提供を目的とする。【解決手段】炭化水素系溶剤Aを用いて被洗浄物を洗浄する洗浄槽(18,19の少なくとも何れか一方)と、フッ素系不活性溶剤Bを用いて洗浄後の被洗浄物をリンスするリンス層28とを備えたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：