特許

J-GLOBAL ID：200903008054737749

石英ガラスの製造方法及びそれにより製造された 石英ガラス部材

発明者： 神保 宏樹 ,  平岩 弘之
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-201343
公開番号（公開出願番号）：特開平7-053225
出願日： 1993年08月13日
公開日（公表日）： 1995年02月28日
要約：

【要約】【目的】 均質性の向上した合成石英ガラスを低い歩留まりであることが可能な石英ガラスの製造方法を提供する。【構成】 HIP処理時の保持圧力と石英ガラスのΔnとの間の直線関係から所望のΔnを与える保持圧力を選択しHIP処理することにより、均質性を。Δn=1×10-6程度以下にすることが可能となる。

請求項（抜粋）：

均質性△n=1×10-6以上の石英ガラスを大気中または不活性ガス雰囲気中または水素ガス雰囲気中または酸素雰囲気中、700°C以上1300°C以下、保持圧力を調整して1時間以上HIP処理し、降温する均質性△n=1×10-6程度以下の石英ガラスの製造方法において、HIP処理時の保持圧力と石英ガラスの均質性△nとの間の関係式を予め導き、該関係式より所望の均質性△nを与える圧力を求め、これによりHIP処理し、降温する事を特徴とする石英ガラスの製造方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開平4-149033
  
• 石英ガラスの製造方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-279635   出願人：株式会社ニコン