特許

J-GLOBAL ID：200903008056491100

開口合成による大型被観察体の波面形状測定方法および測定波面形状補正方法

発明者： ▲葛▼ 宗濤 ,  孫 萍
出願人/特許権者： 富士写真光機株式会社
代理人 (1件)： 川野 宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-355388
公開番号（公開出願番号）：特開2002-162214
出願日： 2000年11月22日
公開日（公表日）： 2002年06月07日
要約：

【要約】【目的】大型被観察体上を干渉計等の測定器により相対的に走査し、測定された各小開口領域について該走査に伴なって発生した並進誤差と傾き誤差を検出し、演算により補正してから開口合成処理を行うようにすることで、各小開口領域のつなぎ合わせ処理において誤差が発生せず、大型の被測定波面形状を求めることができる。【構成】干渉計の開口を被観察体2上において走査し、所定距離だけ走査する毎に干渉縞画像を取得する(S100)。次に、走査の前後の2つの縞画像データにフーリエ変換を施し、該縞画像のキャリア周波数および複素振幅を抽出し、走査案内による、各小開口形状の傾き誤差および並進誤差を検出する(S101)。最後に、開口合成法により、走査の誤差を補正し、その補正された各干渉縞画像をつなぎあわせる(S102)。

請求項（抜粋）：

被観察体と測定器の相対的走査により得られた、空間的に連続する複数枚の前記被観察体の波面形状情報を担持した縞画像の各々に基づき縞解析を用いて要素位相データを得た後、得られた各要素位相データをつなぎ合わせて測定器の観察可能領域よりも面積の大きい被観察体の波面形状を測定する開口合成による大型被観察体の波面形状測定方法において、前記要素位相データを得る際には、前記縞画像にキャリア縞を重畳させ被観察体の波面形状情報を担持したキャリア縞画像となし、互いに隣接する複数のキャリア縞画像の全体または一部にフーリエ変換を施し、その変換結果に基づいて演算を行い、前記相対的走査に伴なう誤差を検出しておき、前記互いに隣接する複数の要素位相データについての前記相対的走査に伴なう誤差を、前記検出値に基づいて補正した後、これら互いに隣接する複数の要素位相データを接続することを特徴とする開口合成による大型被観察体の波面形状測定方法。

IPC (2件)：

G01B 11/24 ,  G01B 9/02

FI (2件)：

G01B 9/02 ,  G01B 11/24 D

Fターム (25件)：

2F064AA09 ,  2F064BB04 ,  2F064DD00 ,  2F064GG12 ,  2F064GG22 ,  2F064GG53 ,  2F064GG61 ,  2F064HH03 ,  2F064HH08 ,  2F064JJ01 ,  2F064JJ15 ,  2F065AA53 ,  2F065CC22 ,  2F065EE00 ,  2F065FF52 ,  2F065FF61 ,  2F065HH03 ,  2F065HH13 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL46 ,  2F065MM01 ,  2F065QQ16 ,  2F065QQ44 ,  2F065SS13

引用特許：

審査官引用 (5件)

• 特開平4-127007
  
• 干渉計を用いた形状測定方法
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平9-142571   出願人：株式会社ニコン
• 非接触表面形状測定装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平10-323559   出願人：株式会社東京精密
• 特開昭61-213704
  
• 特開平3-249513