特許
J-GLOBAL ID：200903008073158881
照明光学装置、露光装置、およびデバイス製造方法
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-112572
公開番号（公開出願番号）：特開2007-287885
出願日： 2006年04月14日
公開日（公表日）： 2007年11月01日
要約：
【課題】 テレセントリシティの良好な光束で像が形成されるように投影光学系の物体面を照明することのできる照明光学装置。【解決手段】 本発明では、照明光学装置の光軸(AXi)が、物体面(M)での照明領域の中心を通ると共に、投影光学系(PL)の光軸(AXp)から位置ずれするように位置決めされている。光源(1)と物体面との間の光路中に配置された波面分割型のオプティカルインテグレータ(11)と、オプティカルインテグレータにより波面分割された各光束を物体面と光学的に共役な共役面での照明領域へ重畳的に導くための導光光学系(12)と、光源とオプティカルインテグレータとの間の光路中に配置されて、光軸(AXi)に対する主光線の傾きを調整するために所定の軸線廻りに回動可能で光路を折り曲げる偏向部材(10)とを備えている。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
光源からの光に基づいて投影光学系の物体面を照明する照明光学装置において、
前記照明光学装置の光軸は、前記物体面での照明領域の中心を通ると共に、前記投影光学系の光軸から位置ずれするように位置決めされ、
前記光源と前記物体面との間の光路中に配置された波面分割型のオプティカルインテグレータと、
前記オプティカルインテグレータにより波面分割された各光束を、前記物体面または前記物体面と光学的に共役な共役面での照明領域へ重畳的に導くための導光光学系と、
前記光源と前記オプティカルインテグレータとの間の光路中に配置されて、前記物体面での前記照明光学装置の光軸に対する主光線の傾きを調整するために所定の軸線廻りに回動可能で光路を折り曲げる偏向部材とを備えていることを特徴とする照明光学装置。
IPC (1件)：
FI (1件)：
Fターム (3件)：
5F046CB02
, 5F046CB13
, 5F046CB19
