特許
J-GLOBAL ID：200903008197257063

ティーチング装置及びティーチング方法

発明者：
緒方 竹虎

緒方 竹虎 について


出願人/特許権者：
NECエレクトロニクス株式会社

NECエレクトロニクス株式会社 について


代理人 (1件)： 加藤 朝道
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-155548
公開番号（公開出願番号）：特開2009-302322
出願日： 2008年06月13日
公開日（公表日）： 2009年12月24日
要約：
【課題】搬送アームに対するキャリアステージの高さのティーチングを高精度に行えるようにすること。【解決手段】ウェハを搬送する搬送アーム4と、ウェハを収納するキャリア1を搭載したキャリアステージ5とを備えた搬送装置での前記搬送アーム4に対するキャリアステージ5の高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、キャリア1内のスロット台2上に配置される円板11と、円板11に取り付けられるとともにスロット台2に配置されている前記円板11の下に配された搬送アーム4と円板11との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材12と、を有するティーチング治具10と、突起部と搬送アーム4の電気的接触を検出する検出器20と、を備える。【選択図】図1
請求項（抜粋）：
ウェハを搬送する搬送アームと、ウェハを収納するキャリアを搭載したキャリアステージとを備えた搬送装置での前記搬送アームに対する前記キャリアステージの高さをティーチングする際に用いるティーチング装置であって、 前記キャリア内のスロット台上に配置される円板と、前記円板に取り付けられるとともに前記スロット台に配置されている前記円板の下に配された前記搬送アームと前記円板との最適な隙間に設計された突起部を有するヘッド部材と、を有するティーチング治具と、 前記突起部と前記搬送アームの電気的接触を検出する検出器と、 を備えることを特徴とするティーチング装置。
IPC (2件)：
H01L 21/68 ,  B25J 9/22
FI (2件)：
H01L21/68 F ,  B25J9/22 A
Fターム (11件)：
3C007JU09 ,  3C007KV04 ,  3C007LS01 ,  3C007LS15 ,  3C007NS13 ,  5F031CA02 ,  5F031DA01 ,  5F031FA01 ,  5F031FA11 ,  5F031GA02 ,  5F031GA38
引用特許：
出願人引用 (1件) 審査官引用 (2件)

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