特許
J-GLOBAL ID:200903008243527496
架橋性エラストマー組成物、該組成物から製造されるシール材およびそれに用いるフィラー
発明者:
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出願人/特許権者:
代理人 (1件):
朝日奈 宗太 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平10-204065
公開番号(公開出願番号):特開2000-034380
出願日: 1998年07月17日
公開日(公表日): 2000年02月02日
要約:
【要約】【課題】 エラストマー組成物に配合しても架橋阻害を生じず、かつ極めてクリーンな半導体製造装置用のシール材として特に好適なエラストマー成形物を提供する。【解決手段】 不純物金属含有量が300ppm以下で、pHが5.0〜11.0の架橋性エラストマー組成物用のカーボンブラックフィラー。このものは、原料カーボンブラックフィラーを酸により抽出処理してフィラーの不純物金属含有量を低減化し、ついでアルカリで処理して残存する酸を中和することによって得られる。
請求項(抜粋):
不純物金属含有量が300ppm以下の架橋性エラストマー組成物用のカーボンブラックフィラー。
IPC (7件):
C08L 27/12
, C08J 3/20
, C08J 3/24
, C08K 3/04
, C09K 3/10
, C08J 5/00 CEQ
, H01L 21/205
FI (8件):
C08L 27/12
, C08J 3/20 B
, C08J 3/24 Z
, C08K 3/04
, C09K 3/10 C
, C09K 3/10 Q
, C08J 5/00 CEQ
, H01L 21/205
Fターム (42件):
4F070AA23
, 4F070AA24
, 4F070AA60
, 4F070AB16
, 4F070AC29
, 4F070AC56
, 4F070AD06
, 4F070AD10
, 4F070AE01
, 4F070GA05
, 4F070GC07
, 4F071AA06
, 4F071AA65
, 4F071AB03
, 4F071AC08
, 4F071AE02
, 4F071AE03
, 4F071AG05
, 4F071AH12
, 4F071BB13
, 4H017AA03
, 4H017AA29
, 4H017AA31
, 4H017AB12
, 4H017AB15
, 4H017AC14
, 4H017AC16
, 4H017AD06
, 4H017AE05
, 4J002AC001
, 4J002BD141
, 4J002BD151
, 4J002CP031
, 4J002DA036
, 4J002EK038
, 4J002EU197
, 4J002FD016
, 4J002FD147
, 4J002FD158
, 4J002GJ02
, 5F045EB03
, 5F045EB10
引用特許:
審査官引用 (22件)
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高純度フルオロエラストマー配合物
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-504612
出願人:イー・アイ・デュポン・ドゥ・ヌムール・アンド・カンパニー
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特開平2-311567
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特開昭57-172555
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特開昭57-176549
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特開昭58-048248
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特開昭58-105445
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複合構造Oリング
公報種別:公開公報
出願番号:特願平8-207744
出願人:エヌオーケー株式会社
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ペルフルオロエラストマー組成物及び方法
公報種別:公表公報
出願番号:特願平7-504599
出願人:グリーン,トウィードオブデラウェアインコーポレイテッド
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特開昭61-037842
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特開平2-311567
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特開昭57-172555
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特開昭57-176549
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特開昭58-048248
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特開昭58-105445
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特開昭61-037842
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低灰分カーボンブラック
公報種別:公表公報
出願番号:特願平6-515156
出願人:キャボットコーポレイション
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特開平2-311567
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特開昭57-172555
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特開昭57-176549
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特開昭58-048248
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特開昭58-105445
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特開昭61-037842
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