特許
J-GLOBAL ID：200903008256092855
処理装置及びその運転方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
金坂 憲幸
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2003-121219
公開番号（公開出願番号）：特開2004-327768
出願日： 2003年04月25日
公開日（公表日）： 2004年11月18日
要約：
【課題】搬送空間側の条件に対応した運転方法をとることを可能とする。【解決手段】処理空間20に水分及び有機物を除去した乾燥空気を供給する乾燥空気供給装置30を接続する。乾燥空気供給装置は、仕切部材3により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成された2つロータ4a,4bと、その駆動手段5と、外部から空気を取込む取込口6と、各ロータの吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を供給する供給口7と、乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させ吸着剤の水分及び有機物を脱離させて排気する排気口9とを備える。供給口7から処理空間に乾燥空気を供給する供給経路21と、処理空間から排気される乾燥空気を取込口に戻す戻り経路22と、供給経路と戻り経路を接続するバイパス経路23と、戻り経路から外部に排気する排気経路24と、再生経路28とに切替弁V1〜V5を設けた。【選択図】 図1
請求項（抜粋）：
処理空間に水分及び有機物を除去した乾燥空気を供給する乾燥空気供給装置を接続した処理装置であって、
前記乾燥空気供給装置は、吸着剤を担持して構成されると共に、仕切部材により回転域が少なくとも吸着ゾーン及び再生ゾーンに区画形成された2つロータと、該2つのロータを回転駆動する駆動手段と、外部から空気を取込む取込口と、該取込口から取込まれた空気を各ロータの吸着ゾーンに通過させて水分及び有機物を除去した乾燥空気を供給する供給口と、前記乾燥空気の一部を加熱して各ロータの再生ゾーンに通過させ吸着剤の水分及び有機物を脱離させて排気する排気口とを備え、
前記供給口から処理空間に乾燥空気を供給する供給経路と、前記処理空間から排気される乾燥空気を取込口に戻す戻り経路とを設け、供給経路と戻り経路をバイパス経路で接続すると共に、戻り経路に乾燥空気を外部に排気する排気経路を接続し、前記再生ゾーンに加熱した乾燥空気を供給する再生経路、供給経路、戻り経路、バイパス経路及び排気経路に切替弁を設けたことを特徴とする処理装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L21/02 D
, B01D53/26 101B
4D052AA00
, 4D052CB01
, 4D052DA02
, 4D052DA06
, 4D052DB01
, 4D052GA01
, 4D052GB08
, 4D052HA03
, 4D052HB02
