特許
J-GLOBAL ID：200903008298777360
液滴吐出装置、ノズルプレートの剥離検出方法、電気光学装置の製造方法、電気光学装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (3件)：
上柳 雅誉
, 藤綱 英吉
, 須澤 修
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-261993
公開番号（公開出願番号）：特開2006-075714
出願日： 2004年09月09日
公開日（公表日）： 2006年03月23日
要約：
【課題】 吐出ヘッドのノズルプレートの剥離が生じているか否かを検出することにより、液滴の吐出性能の低下を発見し、もしくは未然に防止することができるようにした液滴吐出装置を提供すること。【解決手段】液滴をワークWに吐出するための液滴吐出装置であって、液体を貯留する液体貯留部300と、前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッド11とを有し、前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレート64が配置されており、さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段80を備える。【選択図】図6
請求項（抜粋）：
液滴をワークに吐出するための液滴吐出装置であって、
液体を貯留する液体貯留部と、
前記液体貯留部から前記液体が供給されて前記液滴を吐出する吐出ヘッドと
を有し、
前記吐出ヘッドには、ノズル孔を形成したノズルプレートが配置されており、
さらに、前記ノズルプレートが前記吐出ヘッドから剥離したことを検出するための剥離検出手段を備える
ことを特徴とする液滴吐出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B05C5/00 101
, B41J3/04 101Z
2C056EA20
, 2C056EB08
, 2C056EB29
, 2C056EB38
, 2C056EB42
, 2C056FA15
, 2C056FB01
, 2C056KD06
, 4F041AA16
, 4F041AB01
, 4F041BA10
, 4F041BA13
, 4F041BA22
, 4F041BA38
