特許
J-GLOBAL ID:200903008312672002
処理装置の基板位置決め装置及びその方法
発明者:
,
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
杉谷 勉
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-143068
公開番号(公開出願番号):特開2000-329544
出願日: 1999年05月24日
公開日(公表日): 2000年11月30日
要約:
【要約】【課題】 基板の位置決めを迅速に行うことができてスループットを高めることができる基板の位置決め装置を提供する。【解決手段】 基板を載置する載置テーブル15と処理部21とを相対的に移動させ、処理位置EPにて所定の処理を施すための処理装置の基板位置決め装置において、載置テーブル15と処理部21との相対的な移動方向を挟み、かつ、移動方向と斜めに交差する線上に配設された少なくとも2台のアライメントスコープ33,37を備え、基準穴をアライメントスコープ33,37によって計測することに基づき基板の位置決めを行う。移動方向と斜めに交差する線上に配設された少なくとも2台のアライメントスコープ33,37により、載置テーブル15を移動させることなく処理部21側の基準穴とそれに遠い側の基準穴の位置を同時に計測することができる。
請求項(抜粋):
基板を載置する載置台と処理部とを相対的に移動させ、処理位置にて所定の処理を施すための処理装置の基板位置決め装置において、前記載置台と前記処理部との相対的な移動方向を挟み、かつ、移動方向と斜めに交差する線上に配設された少なくとも2台のアライメントスコープを備え、前記載置台に載置された基板の対角線上に形成されている基準マークを前記アライメントスコープによって計測することに基づき前記基板の位置決めを行うことを特徴とする処理装置の基板位置決め装置。
IPC (2件):
FI (2件):
G01B 21/00 L
, G03F 9/00 Z
Fターム (24件):
2F069AA01
, 2F069BB14
, 2F069CC06
, 2F069DD15
, 2F069DD25
, 2F069GG04
, 2F069GG06
, 2F069GG07
, 2F069GG15
, 2F069GG39
, 2F069GG52
, 2F069GG56
, 2F069HH09
, 2F069JJ19
, 2F069JJ26
, 2F069MM11
, 2F069PP02
, 2H097AA03
, 2H097AB05
, 2H097CA17
, 2H097KA13
, 2H097KA15
, 2H097KA20
, 2H097LA09
引用特許:
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