特許
J-GLOBAL ID：200903008314288595
感光性樹脂組成物
発明者：
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-300215
公開番号（公開出願番号）：特開2002-107926
出願日： 2000年09月29日
公開日（公表日）： 2002年04月10日
要約：
【要約】【課題】 プリント配線板の製造や金属の精密加工等に用いられるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特に優れた密着性、解像性及び膜強度を有する感光性樹脂組成物を提供する。【解決手段】 感光性樹脂組成物は、(A)1分子中に2個以上の不飽和二重結合と1個以上のカルボキシル基を有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤としてO-アシルオキシム系化合物、(C)反応性希釈剤、さらに必要に応じて(B-1)上記化合物(B)以外の他の光重合開始剤を含有する。このような感光性樹脂組成物を、液状の感光性レジスト材料として用いることにより、パターン形成性、エッチング又はめっき耐性、剥離性等の諸特性のみでなく、塗膜としての柔軟性も改善される。
請求項（抜粋）：
(A)1分子内に2個以上の不飽和二重結合と1個以上のカルボキシル基を有する感光性プレポリマー、(B)光重合開始剤として、次式(I),(II),(III)又は(IV)で表わされる少なくとも1種の化合物及び(C)反応性希釈剤を含有することを特徴とする感光性樹脂組成物。【化1】(式中、R1は、フェニル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル、フェニル、ハロゲン、OR8、SR9若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか;又はR1は、C1〜C20アルキル又はC2〜C20アルキル(これは、場合により-O-の1個以上により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシ基の1個以上により置換されている)であるか;又はR1は、C5〜C8シクロアルキル若しくはC2〜C20アルカノイルであるか、又はベンゾイル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル、フェニル、OR8、SR9若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか;又はR1は、C2〜C12アルコキシカルボニル(これは、場合により-O-の1個以上により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシ基の1個以上により置換されている)であるか;又はR1は、フェノキシカルボニル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル、ハロゲン、フェニル、OR8若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか;又はR1は、-CONR10R11、CN、NO2、C1〜C4ハロアルキル、S(O)m-(C1〜C6アルキル)、非置換若しくはC1〜C12アルキルで置換されたS(O)m-(C6〜C12アリール)、又はSO2O-(C1〜C6アルキル)、SO2O-(C6〜C10アリール)、あるいはジフェニル-ホスフィノイルであり;mは、1又は2であり;R1′は、C2〜C12アルコキシカルボニル(これは、場合により-O-の1個以上により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシル基の1個以上により置換されている)であるか;又はR1′は、フェノキシカルボニル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル、ハロゲン、フェニル、OR8若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか;又はR1′は、C5〜C8シクロアルキル、-CONR10R11、CN、又はフェニル(これは、SR9により置換されており、ここで、場合により基R4′、R5′及びR6′を有するフェニル環の炭素原子への結合を構築することにより基R9を介して5-又は6-員環が形成される)、あるいはR4′、R5′及びR6′の少なくとも1個が、-SR9であるならば、R1′は、更にC1〜C12アルキル(これは、非置換であるか、又はハロゲン、OH、OR2、フェニル、ハロゲン化フェニル、又はSR9置換フェニルの1個以上により置換されており、かつ場合により-O-又は-NH(CO)-により中断されている)であり;R2は、C2〜C12アルカノイル(これは、非置換であるか、又はハロゲン若しくはCNの1個以上により置換されている)であるか;又はR2は、C4〜C6アルケノイルであるか(但し、二重結合はカルボニル基と共役していない);又はR2は、ベンゾイル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル、ハロゲン、CN、OR8、SR9若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか、又はR2は、C2〜C6アルコキシカルボニル;若しくはフェノキシカルボニル(これは、非置換であるか、又はC1〜C6アルキル若しくはハロゲンにより置換されている)であり;R3、R4、R5、R6及びR7は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1〜C12アルキル、シクロペンチル、シクロヘキシル、又はフェニル(これは、非置換であるか、又はOR8、SR9若しくはNR10R11の1個以上により置換されている)であるか;又はR3、R4、R5、R6及びR7は、ベンジル、ベンゾイル、C2〜C12アルカノイル、又はC2〜C12アルコキシカルボニル(これは、場合により-O-の1個以上により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシル基の1個以上により置換されている)であるか;又はR3、R4、R5、R6及びR7は、フェノニキシカルボニル又は基OR8、SR9、SOR9、SO2R9若しくはNR10R11(ここで、置換基OR8、SR9及びNR10R11は、場合によりフェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の一つと、基R8、R9、R10及び/又はR11を介して5-又は6-員環を形成する)であるが;但し、R3、R4、R5、R6及びR7の少なくとも一つは、OR8、SR9及びNR10R11であり;R4′、R5′及びR6′は、互いに独立して、水素、ハロゲン、C1〜C12アルキル、シクロペンチル、シクロヘキシル、又はフェニル(これは、非置換であるか、又はOR8、SR9若しくは又はNR10R11により置換されている)であるか;又はR4′、R5′及びR6′は、ベンジル、ベンゾイル、C2〜C12アルカノイル、又はC2〜C12アルコキシカルボニル(これは、場合により-O-の1個以上により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシル基の1個以上により置換されている)であるか;又はR4′、R5′及びR6′は、フェノニキシカルボニル、又は基OR8、SR9、SOR9、SO2R9若しくはNR10R11(ここで、置換基OR8、SR9及びNR10R11は、場合によりフェニル環の更なる置換基又はフェニル環の炭素原子の一つと、基R8、R9、R10及び/又はR11を介して5-又は6-員環を形成する)であるが;但し、R4′、R5′及びR6′の少なくとも一つは、OR8、SR9及びNR10R11であり;かつR5′がメトキシであり、R4′及びR6′が両方同時に水素であり、R1′がCNであれば、R2′は、ベンゾイル又は4-(C1〜C10アルキル)ベンゾイルではなく;R8は、水素、C1〜C12アルキルであるか、又はC2〜C6アルキル(これは、-OH、-SH、-CN、C1〜C4アルコキシ、C3〜C6アルケンオキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2(CO)O(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-フェニル、-(CO)OH又は-(CO)O(C1〜C4アルキル)で置換されている)であるか;又はR8は、C2〜C6アルキル(これは、-O-の1個以上によりより中断されている)であるか;又はR8は、-(CH2CH2O)nH、C2〜C8アルカノイル、C3〜C12アルケニル、C3〜C6アルケノイル、シクロヘキシル、又はフェニル(これは、非置換であるか、又はハロゲン、C1〜C12アルキル若しくはC1〜C4アルコキシで置換されている)であるか;又はR8は、フェニル-(C1〜C3アルキル)、Si(C1〜C8アルキル)r(フェニル)3-r又は下記式:【化2】のいずれかの基であり;nは1〜20であり;rは、1、2又は3であり;R9は、水素、C1〜C12アルキル、C3〜C12アルケニル、シクロヘキシル;C2〜C6アルキル(これは、-OH、-SH、-CN、C1〜C4アルコキシ、C3〜C6アルケンオキシ、-OCH2CH2CN、-OCH2CH2(CO)O(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-(C1〜C4アルキル)、-O(CO)-フェニル、-(CO)OH又は-(CO)O(C1〜C4アルキル)で置換されている)であるか;又はR9は、C2〜C12アルキル(これは、-O-又は-S-の1個以上により中断されている)であるか;又はR9は、フェニル(これは、非置換であるか、又はハロゲン、C1〜C12アルキル若しくはC1〜C4アルコキシで置換されている)であるか;又はR9は、フェニル-(C1〜C3アルキル)、又は下記式:【化3】のいずれかの基であり;R10及びR11は、互いに独立して、水素、C1〜C12アルキル、C2〜C4ヒドロキシアルキル、C2〜C10アルコキシアルキル、C3〜C5アルケニル、C5〜C12シクロアルキル、フェニル-(C1〜C3アルキル)、又はフェニル(これは、非置換であるか、又はC1〜C12アルキル若しくはC1〜C4アルコキシにより置換されている)であるか;又はR10及びR11は、C2〜C3アルカノイル、C3〜C6アルケノイル又はベンゾイルであるか;又はR10及びR11は、一緒になってC2〜C6アルキレン(これは、場合により-O-若しくは-NR8-により中断され、及び/又は場合によりヒドロキシル、C1〜C4アルコキシ、C2〜C4アルカノイルオキシ若しくはベンゾイルオキシで置換されている)であるか;又はR10が水素であるとき、R11は、下記式:【化4】のいずれかの基であってよく;Mは、C1〜C12アルキレン、シクロヘキシレン、フェニレン、-(CO)O-(C2〜C12アルキレン)-O(CO)-、-(CO)O-(CH2CH2O)n-(CO)-又は-(CO)-(C2〜C12-アルキレン)-(CO)-であり;M1は、直接結合であるか、又はC1〜C12アルキレンオキシ(これは、場合により、1〜5個の-O-、-S-、及び/又は-NR10-により中断されている)であり;M2は、直接結合であるか;又は(C1〜C12アルキレン)-S-(これは、場合により、1〜5個の-O-、-S-、及び/又は-NR10-により中断されている)であり;M3は、直接結合、ピペラジノ基;又は(C1〜C12アルキレン)-NH-(これは、場合により、1〜5個の-O-、-S-、及び/又は-NR10-により中断されている)であるが;但し、(i)R5がメトキシであり、R2がベンゾイル又はアセチルであるならば、R1はフェニルではなく;(ii)R5がメトキシであり、R2がエトキシカルボニルであるならば、R2はベンゾイル又はエトキシカルボニルではなく;(iii)R5がメトキシであり、R1が4-メトキシベンゾイルであるならば、R2はエトキシカルボニルではなく;(iv)R5がメタクリロイルアミノであり、R1がメチルであるならば、R2はベンゾイルではなく;(v)R5及びR4、又はR5及びR6の両方がOR8基であり、それらのOR8基が一緒になってR8を介して環を形成し、それにより-O-CH2-O-を与え、R1がメチルであるならば、R2はアセチルではなく;(vi)R4、R5及びR6が、同時にメトキシであり、R1がエトキシカルボニルであるならば、R2はアセチルではない。)
IPC (5件)：
G03F 7/031
, G03F 7/027 502
, G03F 7/027 511
, H05K 3/06
, H05K 3/18
G03F 7/031
, G03F 7/027 502
, G03F 7/027 511
, H05K 3/06 H
, H05K 3/18 D
2H025AA13
, 2H025AA14
, 2H025AB15
, 2H025AB17
, 2H025AC01
, 2H025AD01
, 2H025BC34
, 2H025BC43
, 2H025BC82
, 2H025BC85
, 2H025BJ00
, 2H025CA22
, 2H025CC20
, 2H025FA17
, 5E339BC02
, 5E339BE13
, 5E339CC01
, 5E339CC02
, 5E339CD01
, 5E339CE11
, 5E339CE12
, 5E339CE19
, 5E339CF15
, 5E339CG04
, 5E343BB24
, 5E343BB67
, 5E343CC63
, 5E343CC65
, 5E343DD32
, 5E343DD76
, 5E343ER12
, 5E343ER18
, 5E343GG08
, 5E343GG11
