イオン注入機の内部領域から汚染粒子を捕捉、除去する方法及び装置

発明者： , , , , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：萼経夫 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-338044
公開番号（公開出願番号）：特開平9-190794
出願日： 1996年12月18日
公開日（公表日）： 1997年07月22日
要約：

【要約】【課題】イオン注入機の脱気内部領域内を移動中の汚染粒子を捕捉、除去する方法及びその装置を提供すること。【解決手段】イオン注入機(10)の排気内部領域内を移動中の汚染粒子を捕捉、除去する方法であり、汚染粒子が容易に付着する表面を備えた粒子コレクタ(74)を準備し、粒子付着表面が内部領域内を移動中の汚染粒子と流体連通するようにして、粒子コレクタ(74)を注入機(10)に固定し、所定時間後に粒子コレクタ(74)をイオン注入機から取り出す、各段階を備えている。また、イオン注入機(10)と組み合わされて、この汚染粒子を捕捉、除去する装置は、粒子コレクタ(74)が設けられ、汚染粒子が容易に付着する表面と、粒子付着表面が注入機の排気内部領域と流体連通するようにして、粒子コレクタを注入機に取り外し可能に取り付ける支持手段(76,78) とを備えている。

請求項（抜粋）：

加工片を処理するために帯電イオンが排気内部領域内のイオン移動経路を進むようにしたイオン注入機(10)の排気内部領域内を移動中の汚染粒子を捕捉、除去する方法であって、a)汚染粒子が付着する粒子付着表面を備えた粒子コレクタ(74)を準備する段階と、b)粒子コレクタ(74)の粒子付着表面がイオン移動経路に近接した位置で排気内部領域内に位置するように、粒子コレクタを注入機に固定する段階と、c)コレクタに付着した粒子をイオン注入機の排気内部領域から除去するために、粒子コレクタをイオン注入機(10)から定期的に取り出す段階とを有することを特徴とする方法。

IPC (5件)：

H01J 37/317 , C23C 14/48 , H01J 37/16 , H01J 37/18 , H01L 21/265

FI (5件)：

H01J 37/317 Z , C23C 14/48 Z , H01J 37/16 , H01J 37/18 , H01L 21/265 D

引用特許：

審査官引用 (4件)

イオン処理装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-318511 出願人：日新電機株式会社
特開平2-213041
エアサンドイツチ型光デイスク
公報種別：公開公報出願番号：特願平3-251445 出願人：株式会社リコー

全件表示

前のページに戻る