特許

J-GLOBAL ID：200903008370612567

微少旋回装置の駆動装置および微少旋回装置によるアライメント装置

発明者： 芹澤 幸夫 ,  秋山 重隆 ,  長島 一男
出願人/特許権者： 東芝機械株式会社
代理人 (1件)： 三好 秀和 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-128575
公開番号（公開出願番号）：特開平9-309036
出願日： 1996年05月23日
公開日（公表日）： 1997年12月02日
要約：

【要約】【課題】 高精度なアライメントを能率よく行うことを主たる目的としており、所要の分解能と高度な旋回精度とをフィードバック補正を必要とすることなく両立する微少旋回装置の駆動装置を提供する。【解決手段】 旋回テーブルの旋回中心軸29と回転アクチュエータの駆動軸41とに回転力伝送用の金属ベルト47を掛け渡し、金属ベルト47をボルト49、51によって旋回中心軸29と駆動軸41とに固定する。金属ベルト47が旋回中心軸29と駆動軸41とに固定されていることにより、ベルトの伸びや滑りによる誤差成分を含むことなく回転アクチュエータの駆動軸41の回転が旋回テーブルの旋回中心軸29に伝えられる。

請求項（抜粋）：

旋回テーブルの旋回中心軸と回転アクチュエータの駆動軸とに回転力伝送用の金属ベルトが掛け渡され、前記金属ベルトは前記旋回中心軸と前記駆動軸とに固定されていることを特徴とする微少旋回装置の駆動装置。

IPC (4件)：

B23Q 1/25 ,  B23Q 7/02 ,  H01L 21/68 ,  H01L 21/301

FI (4件)：

B23Q 1/16 ,  B23Q 7/02 Z ,  H01L 21/68 K ,  H01L 21/78 C

引用特許：

出願人引用 (4件)

• 特開昭63-000118
  
• 特開昭58-127322
  
• XYステージの制御方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117871   出願人：ウシオ電機株式会社
• 動力伝達機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-272194   出願人：松下電器産業株式会社

審査官引用 (4件)

• XYステージの制御方法および装置
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平6-117871   出願人：ウシオ電機株式会社
• 特開昭63-000118
  
• 動力伝達機構
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平4-272194   出願人：松下電器産業株式会社
• 特開昭58-127322