表面形状の光学的測定装置

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：小山欽造 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-182256
公開番号（公開出願番号）：特開平7-019842
出願日： 1993年06月29日
公開日（公表日）： 1995年01月20日
要約：

【要約】【目的】簡易な構成で測定の精度向上を図る。【構成】表面形状の光学的測定装置を、光源8と干渉計と検出器20とコンピュータ23とにより構成する。干渉計は、位相変調手段10と、ビームエキスパンダ11と、偏光ビームスプリッタ13と参照平面2とから成る。位相変調手段10は、光軸と平行な軸に対して回転自在な1/2波長板14と、固定の1/4波長板15と、上記1/2波長板14の回転を制御する制御器16とから成る。光源8から出射した光束が、この1/2波長板14と1/4波長板15とを通過する事により、上記光束の互いに直交する偏光成分の間に位相差が生じる。

請求項（抜粋）：

光源手段と、この光源手段から出射した光束を、互いに直交する偏光成分の間で位相差を生じさせる位相変調手段と、この光束を、測定光と参照光との2光束に分割する偏光ビームスプリッタと、被測定物で反射した測定光と参照面で反射した参照光とによって形成される干渉縞の強度分布を検出する検出器と、この検出器によって検出された干渉縞の強度分布により、被測定物の表面形状を算出する演算装置とを備え、上記位相変調手段を、光軸と平行な軸を中心として回転自在な1/2波長板と、この1/2波長板の後方に固定の1/4波長板と、上記1/2波長板の回転を制御する制御器とから構成して成る、表面形状の光学的測定装置。

IPC (2件)：

G01B 11/30 102 , G01B 11/24

引用特許：

審査官引用 (1件)

干渉計
公報種別：公開公報出願番号：特願平4-314662 出願人：松下電工株式会社

前のページに戻る