特許
J-GLOBAL ID：200903008386039409
クリーン搬送方法、クリーン搬送装置及びクリーン装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
村井 隆
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-070928
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246351
出願日： 1996年03月04日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 真空クリーンボックスとクリーン装置間の被搬送物の移し変え時における粉塵微粒子の浮遊を防止し、クリーン度の向上を図る。【解決手段】 真空クリーンボックス41とクリーン装置45とを結合して、ボックス側シャッター兼用蓋体部43及び装置側シャッター55が面する密閉空間Sを形成して真空排気した後、蓋体部43のみを開き、その後密閉空間S内をクリーン雰囲気としてからシャッター55を開いてシャッター55及び蓋体部43を前記装置45内部に引き込む場合において、前記ボックス41と装置45との結合部分を2重気密シールP1,P2とするとともに、P1,P2間に真空排気経路86を設け、ボックス41及びシャッター55で囲まれた密閉空間S内をクリーン雰囲気とする前に、シールP1,P2間を真空排気経路86を通して真空排気する構成である。
請求項（抜粋）：
開閉口を有する本体部と前記開閉口を気密に閉成するシャッター兼用蓋体部とからなり、前記シャッター兼用蓋体部の閉成時に真空状態を維持できる気密性を有していて真空排気手段及び移送手段を持たない真空クリーンボックスと、シャッターで開閉自在な開閉口を有するクリーン装置とを、前記シャッター兼用蓋体部及び前記シャッターの閉成状態にて気密に結合し、前記シャッター兼用蓋体部及び前記シャッターが面する密閉空間を形成し、該密閉空間を真空排気した後、前記シャッター兼用蓋体部のみを開き、その後前記真空クリーンボックス及び前記シャッターで囲まれた密閉空間内を前記クリーン装置内と同様のクリーン雰囲気としてから前記シャッターを開いて当該シャッター及び前記シャッター兼用蓋体部を前記クリーン装置内部に引き込むクリーン搬送方法において、前記真空クリーンボックスと前記クリーン装置との結合部分の気密シールを少なくとも2重シールとするとともに、各シール間に真空排気経路を設け、前記真空クリーンボックス及び前記シャッターで囲まれた前記密閉空間内をクリーン雰囲気とする前に、各シール間を前記真空排気経路を通して真空排気することを特徴とするクリーン搬送方法。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 A
, B65G 49/00 C
