印刷配線板の製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：京本直樹 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-228928
公開番号（公開出願番号）：特開平10-075037
出願日： 1996年08月29日
公開日（公表日）： 1998年03月17日
要約：

【要約】【課題】印刷配線板の製造に関する感光性レジスト膜の露光工程において、印刷配線板の穴内周面を紫外線で露光することにより、特に高密度配線に適した微細な穴を有する印刷配線板を生産性よく製造する。【解決手段】本発明は、高密度印刷配線板1の露光工程に用いる露光方法に関し、ガラスビーズ8aを使用した光散乱層8を、印刷配線板1の両面に配置する構造を持ち、光源6より照射された紫外線平行光7を、ガラスビーズ8aの表面及び内表面の球面反射で効率よく散乱光9aに変換し、微細な穴内周面を露光せしめることを特徴とする印刷配線板用露光方法である。

請求項（抜粋）：

印刷配線板の表面及び穴内に感光性レジスト膜を形成する工程と、マスクフィルムを介して前記感光性レジスト膜に紫外線を照射して露光する工程と、その後、現像及びエッチングにより所望のスルーホール及び非スルーホールを形成する工程とを有する印刷配線板の製造方法において、ガラスビーズを用いた光散乱層を介して紫外線平行光を照射し露光することを特徴とする印刷配線板の製造方法。

IPC (2件)：

H05K 3/06 , H05K 3/42 620

FI (2件)：

H05K 3/06 E , H05K 3/42 620 A

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開昭63-182889
特開平4-056189
プリント配線板の製造方法
公報種別：公開公報出願番号：特願平6-177885 出願人：富山日本電気株式会社

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