表面異質層の厚さ測定方法および装置

発明者： , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：村上友一 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2000-017546
公開番号（公開出願番号）：特開2001-208526
出願日： 2000年01月26日
公開日（公表日）： 2001年08月03日
要約：

【要約】【課題】焼入れ層などの異質層の厚さを容易、正確に求める。【解決手段】送受信部32は、電磁超音波センサに高周波信号を与えて被測定物に軸対称SH波を発生させ、電磁超音波センサが出力する軸対称SH波の検出信号を受け、送信信号と同じ周波数の信号を検波して信号処理部38の共鳴スペクトル作成部66に入力する。共鳴周波数決定部68は、共鳴スペクトルから共鳴周波数を決定し、焼入れ深さ決定部70の偏差演算部76に与える。偏差演算部76は、共鳴周波数決定部が求めた共鳴周波数と、共鳴周波数演算部74が運動方程式に基づいて求めた深さの変化に対する共鳴周波数との偏差を演算して深さ判定部78に送出する。深さ判定部78は、最小二乗法により偏差が最も小さな共鳴周波数演算部の算出した共鳴周波数を求め、この共鳴周波数を求めたときの深さを焼入れ層の厚さとする。

請求項（抜粋）：

母材の表面を覆って異質層が設けてある被測定物に、磁歪による軸対称せん断波を生起してしその共鳴周波数を検出し、前記軸対称せん断波による前記被測定物についての運動方程式の解を求め、この運動方程式の解を用いて前記被測定物の深さ方向の変化についての前記軸対称せん断波の共鳴周波数を演算し、この演算した共鳴周波数と前記検出した共鳴周波数とを比較して前記異質層の厚さを求める、ことを特徴とする表面異質層の厚さ測定方法。

Fターム (10件)：

2F068AA28 , 2F068BB12 , 2F068BB14 , 2F068BB23 , 2F068FF23 , 2F068FF25 , 2F068GG02 , 2F068HH00 , 2F068HH03 , 2F068KK12

引用特許：

審査官引用 (3件)

円管の径測定方法及び装置
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-077108 出願人：大阪瓦斯株式会社
特開平1-161144
特開昭62-277554

引用文献：

審査官引用 (1件)

“APPLICATION OF RESONANT MODES OF CYLINDERS TO CASE DEPTH MEASUREMENT

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