感光性グリーンシートおよびプラズマディスプレイの製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-330951
公開番号（公開出願番号）：特開平10-171106
出願日： 1996年12月11日
公開日（公表日）： 1998年06月26日
要約：

【要約】【課題】高アスペクト比かつ高精度のパターン加工を可能にする感光性ペーストを提供する。【解決手段】無機微粒子と感光性化合物を含む有機成分を必須成分とする感光性ペーストであって、有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性ペースト。

請求項（抜粋）：

樹脂製のフィルム上に感光性化合物を含む有機成分およびガラス粉末を必須成分とする感光性ペースト層を形成した感光性グリーンシートであって、成分中の有機成分の平均屈折率と無機微粒子の平均屈折率の差が0.1以下であることを特徴とする感光性グリーンシート。

IPC (3件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , H01J 9/02

FI (3件)：

G03F 7/004 501 , G03F 7/004 512 , H01J 9/02 F

引用特許：

審査官引用 (7件)

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