特許
J-GLOBAL ID:200903008456760410

電気銅めっき用補充液の製造法とその補充液を用いた電気銅めっき方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 若林 邦彦
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平7-292638
公開番号(公開出願番号):特開平9-137298
出願日: 1995年11月10日
公開日(公表日): 1997年05月27日
要約:
【要約】【課題】酸化銅の溶解性の改善や、瞬時に溶解できない超微粉のめっき槽への流入防止、更に微粉状の酸化銅は、移送時や溶解時、容器からの飛散による作業環境汚染及び容器中や移送配管中でのブロッキングによる閉塞、取扱性や使い勝手の改善。【解決手段】水、酸、アルカリ溶液もしくは有機溶媒に、特定の粒径の酸化銅粉末を混合し、この混合溶液中の酸化銅粉末を湿式粉砕機によりさらに微粉末に粉砕し、この微粉末混合溶液に、めっき液の一部を加え、酸化銅を溶解すること。
請求項(抜粋):
水、酸、アルカリ溶液もしくは有機溶媒に、5〜50μmの酸化銅粉末を混合し、この混合溶液中の酸化銅粉末を湿式粉砕機により粒径5μm以下の微粉末に粉砕し、この微粉末混合溶液に、めっき液の一部を加え、酸化銅を溶解することを特徴とする電気銅めっき用補充液の製造法。
IPC (5件):
C25D 21/14 ,  B22F 9/04 ,  C25D 3/38 ,  C25D 21/06 ,  H05K 3/18
FI (5件):
C25D 21/14 E ,  B22F 9/04 C ,  C25D 3/38 ,  C25D 21/06 ,  H05K 3/18 G
引用特許:
審査官引用 (4件)
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