特許
J-GLOBAL ID:200903008468737031

セラミックヒータの製造方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 小島 清路
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平11-304639
公開番号(公開出願番号):特開2001-126852
出願日: 1999年10月26日
公開日(公表日): 2001年05月11日
要約:
【要約】【課題】 セラミック基板の間に発熱抵抗体が配設されたセラミックヒータの製造において、グリーンシートの積層圧着時の塵芥の残留を完全に防止することができるセラミックヒータの方法を提供する。【解決手段】 Al2O3粉末、SiO2粉末、CaCO3粉末及びMgCO3粉末からなるセラミック原料並びに焼結助剤100重量部に、1〜10重量部の1-オクタデカノール、ポリビニルブチラール、軟化剤であるジブチルフタレート及びメチルエチルケトンとトルエンとの混合溶剤を配合したスラリーをドクターブレード法によってグリーンシートを作製し、ヒータパターンの形成された他のグリーンシートに積層後、圧着装置によって、温度65°C、圧力4MPaで圧着し、碍管に巻き付け、1530〜1550°Cで1〜2時間焼成してセラミックヒータを得る。
請求項(抜粋):
一面に形成されるヒータパターンを備える一のグリーンシートの、該一面に、他のグリーンシートを圧着し、これらを一体に焼成するセラミックヒータの製造方法において、該圧着する際に、該一のグリーンシート及び該他のグリーンシートのうちの少なくとも一方を、該グリーンシートに含まれるバインダの融点のうちの最も低い融点を上回る温度に加熱して圧着することを特徴とするセラミックヒータの製造方法。
IPC (4件):
H05B 3/46 ,  B28B 11/00 ,  H05B 3/12 ,  H05B 3/18
FI (4件):
H05B 3/46 ,  H05B 3/12 A ,  H05B 3/18 ,  B28B 11/00 Z
Fターム (24件):
3K092PP16 ,  3K092QA01 ,  3K092QA05 ,  3K092QB02 ,  3K092QB24 ,  3K092QB32 ,  3K092QB62 ,  3K092RA02 ,  3K092RB05 ,  3K092RD09 ,  3K092RF03 ,  3K092RF11 ,  3K092RF17 ,  3K092RF26 ,  3K092TT37 ,  3K092VV19 ,  3K092VV28 ,  4G055AA08 ,  4G055AB01 ,  4G055AC00 ,  4G055BA01 ,  4G055BA22 ,  4G055BA26 ,  4G055FA07
引用特許:
審査官引用 (2件)
  • 特開平1-265477
  • 面状発熱体
    公報種別:公開公報   出願番号:特願平6-147861   出願人:ユニチカ株式会社

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