容積式真空ポンプ

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：渡邉勇 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-162401
公開番号（公開出願番号）：特開平9-324780
出願日： 1996年06月03日
公開日（公表日）： 1997年12月16日
要約：

【要約】【課題】 2本ねじ形の容積式真空ポンプではあっても、単位排気量あたりの消費動力を小さくでき、かつ小型でメンテナンス性の良いドライ式真空ポンプを提供することを目的とする。【解決手段】平行な2つの回転軸2a,2bに設けたねじロータ28a,28b,29a,29bが互いに噛み合いながら反対方向に回転することにより、ねじロータとポンプケーシング5,6間に閉じ込められた気体を移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、各ねじロータを軸方向に少なくとも2つ設けてそれぞれポンプ部5A,6Aを構成し、これらのポンプ部5A,6Aの間に回転軸を回転するモータ部4Aを配置した。

請求項（抜粋）：

平行な2つの回転軸に設けたねじロータが互いに噛み合いながら反対方向に回転することにより、該ねじロータとポンプケーシング間に閉じ込められた気体を移動して排気する容積式真空ポンプにおいて、上記各ねじロータを軸方向に少なくとも2つ設けてそれぞれポンプ部を構成し、これらのポンプ部の間に上記回転軸を回転するモータ部を配置したことを特徴とする容積式真空ポンプ。

IPC (3件)：

F04C 25/02 , F04C 23/00 , H02K 16/00

FI (3件)：

F04C 25/02 M , F04C 23/00 E , H02K 16/00

引用特許：

出願人引用 (7件)

特開平1-167487
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-237827 出願人：松下電器産業株式会社
特開平3-033492

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審査官引用 (10件)

特開平1-167487
真空ポンプ
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-237827 出願人：松下電器産業株式会社
特開平3-033492

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